[发明专利]一种射频声表面波滤波器在审

专利信息
申请号: 202110828925.5 申请日: 2021-07-22
公开(公告)号: CN113595525A 公开(公告)日: 2021-11-02
发明(设计)人: 陈婷婷;杜雪松;谢晓;谢东峰;彭霄;罗璇升;彭雄;张华;明礼;刘春雪 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第二十六研究所
主分类号: H03H9/64 分类号: H03H9/64;H03H3/08;H03H9/02;H03H9/145
代理公司: 重庆辉腾律师事务所 50215 代理人: 卢胜斌
地址: 400060*** 国省代码: 重庆;50
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摘要:
搜索关键词: 一种 射频 表面波 滤波器
【说明书】:

本发明专利涉及声表面波滤波器,具体涉及本发明提出一种射频声表面波滤波器,包括压电基片以及压电基片上方的结构单元,结构单元为梳状设置的金属指条,每根金属指条的四个端角进行加宽处理,形成活塞式加权,加权的尺寸为:x轴方向的长度为金属指条宽度/20~金属指条宽度/2、y轴方向的长度为金属指条宽度/10~金属指条宽度;本发明对金属指条进行加权设计,提高剥离精确度,使金属指条表面光滑平整,减小表面波能量损耗,使得在中心频率大于2GHz的声表面波滤波器的顶部插损能够减小到1.0以内;该结构也可以补偿曝光显影设备在制作金属指条的失真现象,利用现有设备高精度制作更细的金属指条,实现超高中心频率滤波器的制作。

技术领域

本发明专利涉及声表面波滤波器(SAW,Surface Acoustic Wave),具体涉及一种射频声表面波滤波器。

背景技术

SAW滤波器由于很好地兼顾了高性能、技术成熟、小体积、低成本、高一致性等诸多优点,自上世纪七十年代以来,在脉压雷达、抗干扰接收机、通讯电台、相控阵雷达等军用装备得到广泛应用。在民用市场,电视中频滤波器掀起了SAW技术规模化应用的第一次高潮;而从2G移动通信开始,小型化低损耗SAW射频滤波器更是实现了在手机中的排他性应用,掀起了SAW技术规模化应用的第二次高潮。

随着全球手机滤波器市场前景被一致看好,手机滤波器市场规模快速增长。在手机滤波器中,应用最成熟、最广泛的就是声表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)滤波器。近年来,随着移动通信技术的发展,通讯数据流量和3GPP要求的长期演进(LTE)频段数量增长显著,因而LTE和增强LTE(LTE-A)频谱的频带资源分配更趋拥挤;此外,上行链路的载波聚合(CA)技术以及大功率用户设备(HPUE)也已开始在各种通信系统中获得应用。滤波器产业近年处于高速发展的风口,市场对声表滤波器的单颗器件或是晶圆的需求都非常迫切,因此对于声表生产企业,如何释放产能、提升晶圆良率和成品率是目前需要面对和解决的问题。

发明内容

针对现有技术存在的上述不足,本发明的目的在于提出一种新型的SAW器件结构,对滤波器的叉指换能器金属指条、反射栅金属指条和假指金属指条进行加权,利用该种加权结构可以补偿指条在光刻工序的曝光精度,使工艺实现更细、精度要求更高的金属指条的制作,大幅提高高频乃至超高频射频滤波器的制作精度和成品率,本发明提出一种射频声表面波滤波器,包括压电基片以及压电基片上方的结构单元,所述结构单元为梳状设置的金属指条,每根金属指条的四个端角进行加宽处理,形成活塞式加权,加权的尺寸为:x轴方向的长度为金属指条宽度/20~金属指条宽度/2、y轴方向的长度为金属指条宽度/10~金属指条宽度。

进一步的,压电基片上方设置有功能层,金属指条上方设置有保护层。

进一步的,功能层的材料采用金属钛、钛铜金或是钛铝合金。

进一步的,保护层的材料采用二氧化硅或者氮化硅材料。

进一步的,所述结构单元为单端叉指换能器或纵向耦合谐振器。

进一步的,压电基片的材料采用钽酸锂或者铌酸锂材料。

进一步的,金属指条表面覆盖有二氧化硅或者氮化硅材料。

与现有技术相比,本发明具有如下有益效果:

(1)本发明对金属指条进行加权设计,提高剥离精确度,使金属指条表面光滑平整,减小表面波能量损耗,使得在中心频率大于2GHz的声表面波滤波器的顶部插损能够减小到1.0以内;

(2)本发明利用加权金属块来补偿曝光显影设备在制作金属指条的失真现象,减小工艺误差对滤波器金属形貌的影响,提高滤波器的电性能指标,实现提高成品率的目的;

(3)本发明利用加权金属块来补偿曝光显影设备在制作金属指条的失真现象,利用现有设备高精度制作更细的金属指条,实现超高中心频率滤波器的制作;

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