[发明专利]一种集成双向驱动的微动台及运动装置

权利要求书

1.一种集成双向驱动的微动台，其特征在于，包括：

安装基座(5)；

垂向底座(3)，可沿Z向移动设置于所述安装基座(5)上，且在Rz向上的位置相对所述安装基座(5)不变，所述垂向底座(3)具有下端开口的安装腔；

旋转座(2)，可在Rz方向转动地套设于垂向底座(3)，且在所述Z向上的位置相对所述垂向底座(3)不变，所述旋转座(2)的转动轴线与所述垂向底座(3)的纵向中心线重合，所述旋转座(2)与安装腔同轴设置；

双向驱动装置(1)，包括同轴且沿所述Z向并排设置的垂向电机组件(11)和旋转电机组件(12)，所述垂向电机组件(11)和所述旋转电机组件(12)均与所述旋转座(2)同轴套设，所述垂向电机组件(11)用于驱动所述旋转座(2)和所述垂向底座(3)沿所述Z向相对所述安装基座(5)移动，所述旋转电机组件(12)用于驱动所述旋转座(2)绕所述Z向相对安装基座(5)和所述垂向底座(3)转动；

重力补偿机构(7)，包括固设于所述安装基座(5)上的固定部(71)和至少部分位于所述安装腔中并与所述垂向底座(3)固定连接的运动部(72)，所述运动部(72)能够相对所述固定部(71)沿所述Z向运动以向所述垂向底座(3)施加沿所述Z向向上的作用力。

2.根据权利要求1所述的微动台，其特征在于，所述垂向底座(3)包括同轴且间隔套设的转接筒部(31)和滑套部(32)，所述旋转座(2)包括同轴且间隔套设的内筒部(21)和外筒部(22)，所述内筒部(21)沿所述Z向向下延伸入所述转接筒部(31)和所述滑套部(32)之间并与所述转接筒部(31)在Rz向转动连接，所述滑套部(32)沿Z向向上延伸入所述内筒部(21)和所述外筒部(22)之间，所述滑套部(32)与所述安装基座(5)滑动连接，所述双向驱动装置(1)位于所述滑套部(32)的外侧。

3.根据权利要求1或2所述的微动台，其特征在于，所述安装基座(5)包括导向套部(52)，所述旋转座(2)包括同轴且间隔套设的内筒部(21)和外筒部(22)，所述导向套部(52)沿所述Z向向上伸入所述内筒部(21)和所述外筒部(22)之间，所述垂向底座(3)位于所述导向套部(52)的内侧并与所述导向套部(52)沿Z向滑动连接，所述内筒部(21)与所述垂向底座(3)在Rz向转动连接，所述双向驱动装置(1)位于所述导向套部(52)的外侧。

4.根据权利要求1或2所述的微动台，其特征在于，所述安装基座(5)包括导向套部(52)和间隔套设于所述导向套部(52)外侧的安装筒部(53)，所述旋转座(2)包括与所述安装筒部(53)同轴套设的外筒部(22)，所述外筒部(22)沿所述Z向向下延伸至所述导向套部(52)和所述安装筒部(53)之间，所述垂向底座(3)位于所述外筒部(22)的内侧并与所述导向套部(52)沿Z向滑动连接，所述双向驱动装置(1)安装于所述安装筒部(53)和所述外筒部(22)之间。

5.根据权利要求4所述的微动台，其特征在于，所述微动台还包括挡板(4)，所述挡板(4)可拆卸连接于所述安装筒部(53)和所述外筒部(22)中的一个的上端，且所述挡板(4)沿朝向所述安装筒部(53)和所述外筒部(22)中的另一个延伸。

6.根据权利要求4所述的微动台，其特征在于，所述安装基座(5)还包括底板部(51)，所述安装筒部(53)的下端与所述底板部(51)可拆卸连接或一体式连接，所述导向套部(52)的下端与所述底板部(51)可拆卸连接或一体式连接。

7.根据权利要求1或2所述的微动台，其特征在于，所述垂向电机组件(11)包括同轴且间隔套设的垂向电机线圈机构(112)和垂向电机磁体机构(111)，所述旋转电机组件(12)包括同轴且间隔套设的旋转电机磁体机构(121)和旋转电机线圈机构(122)，所述旋转电机磁体机构(121)和所述垂向电机磁体机构(111)均固设于所述旋转座(2)上，所述旋转电机线圈机构(122)与所述垂向电机线圈机构(112)均相对于所述安装基座(5)固定。