[发明专利]一种集成双向驱动的微动台及运动装置

说明书

本发明属于集成电路制备技术领域，具体公开了一种集成双向驱动的微动台及运动装置。微动台包括：安装基座；垂向底座，可沿Z向移动地设置于安装基座上，且在Rz向上的位置相对安装基座不变；旋转座，可在Rz方向转动地套设于垂向底座，且在Z向上的位置相对垂向底座不变；双向驱动装置，包括同轴且沿Z向并排设置的垂向电机组件和旋转电机组件，垂向电机组件与旋转电机组件均与旋转座同轴套设，垂向电机组件用于驱动旋转座和垂向底座沿Z向相对安装基座移动，旋转电机组件用于驱动旋转座绕Z向相对安装基座和垂向底座转动。运动装置包括上述的微动台。本发明公开的微动台和运动装置，有利于实现微动台及运动装置的轻量化和扁平化设计。

技术领域

本发明涉及集成电路制备技术领域，尤其涉及一种集成双向驱动的微动台及运动装置。

背景技术

在半导体硅片膜厚的检测领域，要求工件台可以和硅片传输系统完成硅片的交接，同时需要承载着12英寸或者8英寸的硅片完成垂向运动和360°的旋转运动，因此，应用于膜厚检测领域的运动装置一般包括XY运动台和设置于XY运动台上的微动台。

微动台为运动装置的核心部件，其一般能够提供绕Z向的转动运动和沿Z向的平移运动。随着对产率要求和膜厚检测精度要求的不断提高，对运动装置的运行速度及加速度性能要求也随之提高，这就要求运动装置更加轻量化及扁平化，以及具备更好的运动精度。

现有的微动台通常包括安装基座、间隔设置于安装基座上方的上平板、连接于上平板和安装基座之间的垂向驱动机构以及设置于上平板上的Rz台，Rz台包括用于安装吸盘的吸盘座以及用于驱动吸盘座绕Z轴转动的旋转驱动机构。

现有技术提供的微动台，垂向驱动机构、上平板和Rz台由下至上依次布置，且旋转驱动机构与垂向驱动机构单独设置，造成微动台在Z向的尺寸难以缩小，不利于微动台和运动装置的轻量化和扁平化设置。

发明内容

本发明的一个目的在于提供一种集成双向驱动的微动台，以减小微动台在Z向的尺寸，以利于微动台的轻量化和扁平化设置。

本发明的另一目的在于提供一种运动装置，以减小运动装置在Z向上的尺寸，提高运动装置的运行特性。

为实现上述目的，本发明采用下述技术方案：

一种微动台，包括：

安装基座；

垂向底座，可沿Z向移动地设置于所述安装基座上，且在Rz向上的位置相对所述安装基座不变；

旋转座，可在Rz方向转动地套设于垂向底座，且在所述Z向上的位置相对所述垂向底座不变，所述旋转座的转动轴线与所述垂向底座的纵向中心线重合；

双向驱动装置，包括同轴且沿所述Z向并排设置的垂向电机组件和旋转电机组件，所述垂向电机组件与所述旋转电机组件均与所述旋转座同轴套设，所述垂向电机组件用于驱动所述旋转座和所述垂向底座沿所述Z向相对所述安装基座移动，所述旋转电机组件用于驱动所述旋转座绕所述Z向相对安装基座和所述垂向底座转动。

作为一种微动台的优选技术方案，所述垂向底座包括同轴且间隔套设的转接筒部和滑套部，所述旋转座包括同轴且间隔套设的内筒部和外筒部，所述内筒部沿所述Z向向下延伸入所述转接筒部和所述滑套部之间并与所述转接筒部Rz向转动连接，所述滑套部沿Z向向上延伸入所述内筒部和所述外筒部之间，所述滑套部与所述安装基座滑动连接，所述双向驱动装置位于滑套部的外侧。该种设置，能够实现垂向底座与旋转座的相互嵌套，从而提高结构紧凑性，且能够通过滑套部与安装基座的滑动连接，提高垂向底座沿Z向运动的平稳性和可靠性；同时，双向驱动装置套设在滑套部的外侧，能够使得微动台的安装可以由内至外依次进行，提高微动台的拆装便利性。