[发明专利]蒸镀装置及蒸发源

权利要求书

1.一种蒸镀装置，所述蒸镀装置具备蒸发源和相对移动机构，所述蒸发源收容成膜材料，所述相对移动机构使所述蒸发源和配设在与所述蒸发源相向的位置上的基板沿着与所述蒸发源的长边方向交叉的交叉方向相对移动，所述蒸镀装置通过从所述蒸发源放出成膜材料而在所述基板上形成蒸镀膜，其特征在于，

在所述蒸发源设有第一蒸发口列和第二蒸发口列，所述第一蒸发口列包括沿着所述长边方向排列的多个蒸发口，所述第二蒸发口列包括沿着所述长边方向排列的多个蒸发口，

所述第一蒸发口列与所述第二蒸发口列在所述交叉方向上排列配置，

以穿过所述第一蒸发口列包含的蒸发口的开口中心且沿着所述交叉方向的线均不穿过所述第二蒸发口列包含的蒸发口的开口中心的方式配置所述第一蒸发口列包含的蒸发口以及所述第二蒸发口列包含的蒸发口，

所述第一蒸发口列包含的蒸发口在所述交叉方向上朝向所述第二蒸发口列倾斜，

所述第二蒸发口列包含的蒸发口在所述交叉方向上朝向所述第一蒸发口列倾斜。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，

在所述第一蒸发口列以及所述第二蒸发口列的每一个中，设置在最外侧的蒸发口以其开口面朝向所述长边方向的外侧的方式倾斜设置。

3.根据权利要求1或2所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述蒸发源具有设有所述第一蒸发口列的第一容器和设有所述第二蒸发口列的第二容器，

所述第一容器和所述第二容器在所述交叉方向上并列设置。

4.一种蒸发源，收容成膜材料，其特征在于，

在所述蒸发源设有第一蒸发口列和第二蒸发口列，所述第一蒸发口列包括沿着所述蒸发源的长边方向排列的多个蒸发口，所述第二蒸发口列包括沿着所述长边方向排列的多个蒸发口，

所述第一蒸发口列与所述第二蒸发口列在与所述长边方向交叉的交叉方向上排列配置，

以穿过所述第一蒸发口列包含的蒸发口的开口中心且沿着所述交叉方向的线均不穿过所述第二蒸发口列包含的蒸发口的开口中心的方式配置所述第一蒸发口列包含的蒸发口以及所述第二蒸发口列包含的蒸发口，

所述第一蒸发口列包含的蒸发口在所述交叉方向上朝向所述第二蒸发口列倾斜，

所述第二蒸发口列包含的蒸发口在所述交叉方向上朝向所述第一蒸发口列倾斜。

5.根据权利要求4所述的蒸发源，其特征在于，

在所述第一蒸发口列以及所述第二蒸发口列的每一个中，设置在最外侧的蒸发口以其开口面朝向所述长边方向的外侧的方式倾斜设置。

6.根据权利要求4或5所述的蒸发源，其特征在于，

所述蒸发源具有设有所述第一蒸发口列的第一容器和设有所述第二蒸发口列的第二容器，

所述第一容器和所述第二容器在所述交叉方向上并列设置。

7.根据权利要求1或2所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述第一蒸发口列的蒸发口以及所述第二蒸发口列的蒸发口放出相互不同的材料。

8.根据权利要求1或2所述的蒸镀装置，其特征在于，

在所述第一蒸发口列以及所述第二蒸发口列的每一个中，蒸发口的高度为越往中心侧越高且越往端部侧越低。

9.根据权利要求4或5所述的蒸发源，其特征在于，

所述第一蒸发口列的蒸发口以及所述第二蒸发口列的蒸发口放出相互不同的材料。

10.根据权利要求4或5所述的蒸发源，其特征在于，

在所述第一蒸发口列以及所述第二蒸发口列的每一个中，蒸发口的高度为越往中心侧越高且越往端部侧越低。