[发明专利]蒸镀装置及蒸发源

说明书

本发明提供一种通过使蒸发口部彼此的距离尽可能地分离而能够抑制蒸发口部间的相互影响并防止膜厚分布产生误差的蒸镀装置及蒸发源。蒸镀装置具备蒸发源和相对移动机构，该蒸发源具有收容成膜材料的容器(1)和设于容器(1)的蒸发口部(2)，该相对移动机构使蒸发源和基板沿着与蒸发源的长边方向正交的方向相对移动，其中，在蒸发源中，蒸发口部(2)沿着容器(1)的长边方向设置多列，一对蒸发口部(2)分别具有以朝向容器(1)的长边方向外侧的方式倾斜的开口端面，蒸发口部(2)被分别排列成，在通过蒸发口部(2)的开口中心且沿着基板的相对移动方向的线上，其他的蒸发口部(2)的开口中心不重叠。

本申请是申请日为2017年7月5日、申请号为201710539971.7、发明创造名称为“蒸镀装置及蒸发源”的分案申请。

技术领域

本发明涉及蒸镀装置及蒸发源。

背景技术

在本申请人自己在先申请的日本特愿2014-265981号中，提出了一种真空蒸镀装置，所述真空蒸镀装置使设置于蒸发源的多个蒸发口部中的、位于外侧的蒸发口部的开口端面以朝向蒸发源的长边方向外侧的方式倾斜，由此，即便不将蒸发口部向长边方向外侧扩展地配设，也能得到膜厚分布均匀且抑制了成膜后的图案中的膜模糊的蒸镀膜。

然而，在蒸发口部彼此接近的情况下，如图1及图2所图示那样，由于接近的蒸发口部的材料飞散区域重叠而形成蒸发粒子的高密度空间，有时产生蒸发粒子的碰撞散乱，这种情况下，膜厚分布会产生误差。图1是竖直地竖立设置的蒸发口部(竖直喷嘴)的例子，图2是向内侧倾斜地设置的蒸发口部(内倾喷嘴)的例子。

另外，如果接近的蒸发口部如上述在先申请那样是以朝向蒸发源的长边方向外侧的方式使开口端面倾斜的蒸发口部(外倾喷嘴)彼此，则从内侧的蒸发口部的开口端面放出的蒸发粒子有时会到达外侧的蒸发口部并再次蒸发。这种情况下，膜厚分布也会产生误差。

发明内容

本发明鉴于上述的现状而作出，其目的在于提供一种通过使蒸发口部彼此的距离尽可能地分离而能够抑制蒸发口部间的相互影响，从而防止膜厚分布产生误差的蒸镀装置及蒸发源。

【用于解决课题的方案】

一种蒸镀装置，所述蒸镀装置具备蒸发源和相对移动机构，所述蒸发源具有收容成膜材料的容器和设于所述容器的蒸发口部，所述相对移动机构使所述蒸发源和配设在与所述蒸发源相向的位置上的基板沿着与所述蒸发源的长边方向正交的方向相对移动，所述蒸镀装置通过从所述蒸发口部放出所述成膜材料而在基板上形成蒸镀膜，其特征在于，在所述蒸发源中，所述蒸发口部沿着所述容器的长边方向设置多列，至少一对所述蒸发口部分别具有以朝向所述容器的长边方向外侧的方式倾斜的开口端面，所述蒸发口部被分别排列成，在通过蒸发口部的开口中心且沿着所述基板的相对移动方向的线上，其他的蒸发口部的开口中心不重叠。

【发明效果】

本发明由于如上所述构成，因此形成通过使蒸发口部彼此的距离尽可能地分离而能够抑制蒸发口部间的相互影响并防止膜厚分布产生误差的蒸镀装置及蒸发源。

附图说明

图1是说明竖直喷嘴彼此的材料飞散区域的重叠的概略说明图。

图2是说明内倾喷嘴彼此的材料飞散区域的重叠的概略说明图。

图3是本实施例的概略说明俯视图。

图4的(a)是本实施例的概略说明侧视图，图4的(b)是A-A剖视图。

图5的(a)是本实施例的概略说明侧视图，图5的(b)是B-B剖视图。

图6是现有例的概略说明俯视图。

图7的(a)是现有例的概略说明侧视图，图7的(b)是C-C剖视图。

图8是现有例的概略说明俯视图。