[发明专利]一种包含排水功能的晶圆搬运装置

权利要求书

1.一种包含排水功能的晶圆搬运装置，其特征在于，包括Z轴本体、位于Z轴本体上端的θ轴、位于θ轴上端的机械臂、位于机械臂前端的翻转单元，以及排水单元，所述排水单元包括滴水排出子单元，所述滴水排出子单元包括上接水盘和下接水盘，所述上接水盘固定在所述θ轴上，所述下接水盘固定在所述Z轴本体上，且所述上接水盘和θ轴能够相对于Z轴本体进行旋转升降运动；

所述上接水盘包括第一排水孔，所述下接水盘包括第一排水口，所述第一排水孔通过第一排水管连接至下接水盘；

所述机械臂和翻转单元用于搬运和翻转晶圆，在晶圆搬运和翻转过程中，晶圆上的水掉落在上接水盘中，并通过第一排水孔和第一排水管进入下接水盘中，并通过第一排水口排出晶圆搬运装置。

2.根据权利要求1所述的一种包含排水功能的晶圆搬运装置，其特征在于，所述下接水盘包括紧贴Z轴本体的凸台。

3.根据权利要求1所述的一种包含排水功能的晶圆搬运装置，其特征在于，所述第一排水口位于所述下接水盘的外侧。

4.根据权利要求1所述的一种包含排水功能的晶圆搬运装置，其特征在于，所述Z轴本体内部包括升降圆管、升降圆管法兰、同步带轮、轴承、外圈法兰和内圈法兰；所述升降圆管固定在所述升降圆管法兰上，所述升降圆管法兰通过同步带轮连接外圈法兰；所述外圈法兰压紧所述轴承的外圈，所述内圈法兰压紧所述轴承的内圈；

所述排水单元还包括飞溅水排出子单元，所述飞溅水排出子单元包括第三排水孔、第四排水孔和第二排水管；所述升降圆管法兰和内圈法兰之间设置第二排水管，所述升降圆管法兰包括第三排水孔，所述第三排水孔连接所述第二排水管的一端，所述第二排水管的另一端延伸至内圈法兰；所述内圈法兰包括第四排水孔，所述升降圆管法兰上的水经过第三排水孔、第二排水管和第四排水孔排出装置。

5.根据权利要求4所述的一种包含排水功能的晶圆搬运装置，其特征在于，所述外圈法兰包括外圈上压法兰和外圈下压法兰，所述外圈上压法兰和外圈下压法兰压紧轴承的外圈。

6.根据权利要求4所述的一种包含排水功能的晶圆搬运装置，其特征在于，所述内圈法兰包括内圈上压法兰和内圈下压法兰，所述内圈上压法兰和内圈下压法兰压紧轴承的内圈；所述内圈上压法兰包括排水槽和第四排水孔，所述内圈下压法兰包括第二排水口；且第四排水孔和第二排水口在竖直方向上重叠。

7.根据权利要求4所述的一种包含排水功能的晶圆搬运装置，其特征在于，内圈下压法兰排水口下端连接接头，所述接头通过底板排水口连接至装置外部。

8.根据权利要求4所述的一种包含排水功能的晶圆搬运装置，其特征在于，所述第二排水管的上端包括密封圈，所述密封圈被升降圆管法兰和同步带轮压紧，实现密封。

9.根据权利要求1所述的一种包含排水功能的晶圆搬运装置，其特征在于，所述升降圆管法兰的截面面积大于升降圆管的截面面积。

10.根据权利要求4所述的一种包含排水功能的晶圆搬运装置，其特征在于，所述同步带轮通过同步带连接主动轮，所述主动轮连接驱动单元，所述驱动单元通过主动轮、同步带、同步带轮和升降圆管法兰带动升降圆管进行旋转运动。