[发明专利]一种包含排水功能的晶圆搬运装置

说明书

本发明公开了一种包含排水功能的晶圆搬运装置，包括排水单元，所述排水单元包括滴水排出子单元，所述滴水排出子单元包括上接水盘和下接水盘，所述上接水盘固定在θ轴上，所述下接水盘固定在Z轴本体上，且所述上接水盘和θ轴能够相对于Z轴本体进行旋转升降运动；所述上接水盘包括第一排水孔，所述下接水盘包括第一排水口，所述第一排水孔通过第一排水管连接至下接水盘；晶圆上的水掉落在上接水盘中，并通过第一排水孔和第一排水管进入下接水盘中，并通过第一排水口排出晶圆搬运装置。该装置能够确保晶圆上的水通过特定排水结构排出，进而确保晶圆搬运装置的使用寿命。

技术领域

本发明属于半导体装置领域，具体属于一种包含排水功能的晶圆搬运装置。

背景技术

在半导体领域晶圆搬运传输过程中，需要用到晶圆搬运机器人在各个工位之间进行晶圆传送，为了打磨需要，有的工位需要对晶圆进行清洗，这就导致晶圆上面存在着一层水，同时周围具有少量的喷溅水。晶圆在传送或者翻转时，水就会进入机器人内部，导致机器人寿命减短，损坏里面的一些关键零部件。

在如附图1的单臂晶圆翻转机器人中，晶圆1在翻转和搬运时，由于惯性和翻转，水会从晶圆1上流到固定法兰2上面，固定法兰2上的水一部分流到法兰外边，一部分通过法兰的内孔流到机器人内部，对机器人尤其是内部电气元件产生影响。

在如附图2的双臂晶圆搬运机器人中，晶圆在搬运过程中，由于惯性作用，水同样会流到法兰上面，进入机器人内部，对其产生影响。

如附图1和附图2，除了滴水对机器人产生影响外，喷溅的水也会进入到机器人内部，对其产生影响。

为了解决该问题，传统的方法是在清洗装置或者机械臂上加伸缩管，该方法仅仅对于水量较大且喷溅的场合比较适合，适用范围较小；同时也存在着成本较高和改造困难的难题，导致整个装置成本较高、改造周期较长、维护繁琐。另外伸缩管的寿命较短，来回伸缩容易产生颗粒，更换较为麻烦等。

发明内容

为了解决上述问题，本发明提供了一种包含排水功能的晶圆搬运装置；该装置能够确保晶圆上的水通过特定排水结构排出，进而确保晶圆搬运装置的使用寿命。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：一种包含排水功能的晶圆搬运装置，包括Z轴本体、位于Z轴本体上端的θ轴、位于θ轴上端的机械臂、位于机械臂前端的翻转单元，以及排水单元，所述排水单元包括滴水排出子单元，所述滴水排出子单元包括上接水盘和下接水盘，所述上接水盘固定在所述θ轴上，所述下接水盘固定在所述Z轴本体上，且所述上接水盘和θ轴能够相对于Z 轴本体进行旋转升降运动；

所述上接水盘包括第一排水孔，所述下接水盘包括第一排水口，所述第一排水孔通过第一排水管连接至下接水盘；

所述机械臂和翻转单元用于搬运和翻转晶圆，在晶圆搬运和翻转过程中，晶圆上的水掉落在上接水盘中，并通过第一排水孔和第一排水管进入下接水盘中，并通过第一排水口排出晶圆搬运装置。

进一步的，所述下接水盘包括紧贴Z轴本体的凸台。

进一步的，所述第一排水口位于所述下接水盘的外侧。

进一步的，所述Z轴本体内部包括升降圆管、升降圆管法兰、同步带轮、轴承、外圈法兰和内圈法兰；所述升降圆管固定在所述升降圆管法兰上，所述升降圆管法兰通过同步带轮连接外圈法兰；所述外圈法兰压紧所述轴承的外圈，所述内圈法兰压紧所述轴承的内圈；

所述排水单元还包括飞溅水排出子单元，所述飞溅水排出子单元包括第三排水孔、第四排水孔和第二排水管；所述升降圆管法兰和内圈法兰之间设置第二排水管，所述升降圆管法兰包括第三排水孔，所述第三排水孔连接所述第二排水管的一端，所述第二排水管的另一端延伸至内圈法兰；所述内圈法兰包括第四排水孔，所述升降圆管法兰上的水经过第三排水孔、第二排水管和第四排水孔排出装置。