[发明专利]一种带凹槽结构的肖特基二极管

权利要求书

1.一种带凹槽结构的肖特基二极管，其特征在于，包括：

半导体衬底；

半导体层，设置于所述半导体衬底上，所述半导体层的上表面依次开设有多个凹槽、第一限位槽和多个第二限位槽；所述凹槽的内外壁覆盖有第一绝缘层，所述第一限位槽的内外壁覆盖有第二绝缘层，所述第二限位槽的内外壁覆盖有第三绝缘层；所述凹槽和所述第一限位槽内分别设置有第一电极，所述第二限位槽内设置有第二电极；

肖特基势垒层，设置于所述半导体层上，所述肖特基势垒层覆盖所述凹槽、各所述凹槽之间形成多个第一凸脊的表面、所述第一限位槽和与所述第一限位槽相邻的所述凹槽之间形成第二凸脊的表面和所述第一限位槽开口区域中除背离所述凹槽的方向的外壁之外的区域；

第一接触层，设置于所述肖特基势垒层上，分别与所述肖特基势垒层和所述第一电极电连接，所述第一接触层的上侧部分向背离所述凹槽的方向延伸；

第二接触层，设置于所述半导体层上除所述肖特基势垒层之外的区域，与所述半导体层电连接；

各所述第一凸脊的宽度值的确定步骤如下：

获取所述肖特基二极管的除所述宽度值之外的多个参数；

基于预设的影响值对照库，确定所述参数对应的影响值；

从所述多个参数中剔除掉所述影响值小于等于预设的影响值阈值的所述影响值，完成剔除后，获得多个目标参数；

获取预设的测试宽度值集合，对所述测试宽度值集合进行预处理，完成预处理后，获得目标测试宽度值集合；

获取各所述第一凸脊的排列顺序，基于所述排列顺序将所述目标测试宽度值集合中的多个目标测试宽度值进行随机组合，获得多个测试宽度值组合；

获取预设的模拟测试模型，将所述多个目标参数输入所述模拟测试模型进行所述模拟测试模型的初始化配置；

待所述模拟测试模型初始化配置完成后，选取一个所述测试宽度值组合输入所述模拟测试模型进行模拟测试；

待所述模拟测试模型测试完成后，获取所述模拟测试模型输出的多个测试结果值以及与所述测试结果值一一对应的测试权重；

基于所述测试结果值和对应所述测试权重，计算选取的所述测试宽度值组合的适宜度，计算公式如下：

其中，cl为所述适宜度，d_i为第i个所述测试结果值，O_i为第i个所述测试结果值对应的所述测试权重，n为所述测试结果值的总数目，l_i为中间变量，O₀为预设的权重阈值，μ₁和μ₂为预设的权重值，

待全部所述测试宽度值组合均被选取输入所述模拟测试模型完成模拟测试后，选取所述适宜度的最大值作为第一目标值；

获取预设的误差记录数据库，所述误差记录数据库包括：多个误差记录以及与所述误差记录一一对应的误差程度值，基于所述误差程度值对所述第一目标值进行下调，下调公式如下：

其中，σ′为下调后的所述第一目标值，σ为下调前的所述第一目标值，r_t为第t个所述误差程度值，r₀为预设的误差程度值阈值，z为所述误差程度值的总数目，J为预设的下调幅度值；

下调完成后，将下调后的所述第一目标值作为第二目标值；

基于所述第一目标值和所述第二目标值制成适宜度筛选区间；

基于所述适宜度筛选区间对各所述测试宽度值组合进行筛选，筛选出所述适宜度落在所述适宜度筛选区间内的对应所述测试宽度值组合，每次筛选时，将筛选出的所述测试宽度值组合作为一个测试任务项；

筛选完成后，获得多个测试任务项；

下发所述测试多个测试任务项至预设的多个测试组，所述测试组包括：人工测试组和仪器测试组，由所述测试组基于被下发的所述测试任务项进行真实测试；

获取各所述测试组进行真实测试后获得的与所述测试任务项一一对应的多个真实测试结果；

获取所述测试组进行真实测试时产生的测试过程记录，对所述测试过程记录进行特征提取，获得多个第一特征；

获取预设的不规范特征数据库，将所述第一特征与所述不规范特征数据库中的第二特征进行匹配；

若存在匹配符合，将对应所述测试过程记录对应的所述测试组记作不合格；

从所述多个真实测试结果中剔除掉被记作不合格的所述测试组进行真实测试后获得的所述真实测试结果，剔除完成后，获得多个目标真实测试结果；

获取预设的提取模型，将所述多个目标真实测试结果输入所述提取模型进行最佳所述目标真实测试结果的提取；

将最佳所述目标真实测试结果对应的所述测试任务项内的各所述目标测试宽度值对应作为各所述第一凸脊的宽度值，完成确定；

对所述测试宽度值集合进行预处理的步骤如下：

获取预设的预测模型，将所述多个目标参数输入所述预测模型进行适宜宽度值范围的预测；

预测完成后，获取所述预测模型附加输出的与所述适宜宽度值范围的上限值对应的第一扩大系数以及与所述适宜宽度值范围的下限值对应的第二扩大系数；

基于所述第一扩大系数对所述上限值进行上调，上调公式如下：

α′＝k₁α

其中，α′为上调后的所述上限值，α为上调前的所述上限值，k₁为所述第一扩大系数；

基于所述第二扩大系数对所述下限值进行下调，下调公式如下：

β′＝k₂β

其中，β′为下调后的所述下限值，β为下调前的所述下限值，k₂为所述第二扩大系数；

基于下调后的所述上限值和下调后的所述下限值制成宽度值筛选区间；

基于所述宽度值筛选区间对所述测试宽度值集合中的多个测试宽度值进行筛选，筛选出所述多个测试宽度值中落在所述宽度值筛选区间内的所述测试宽度值，并组合成目标测试宽度值集合，完成预处理。