[发明专利]一种机械加工用晶圆划片装置及其使用方法

权利要求书

1.一种机械加工用晶圆划片装置，包括底座（1），所述底座（1）顶部中央设置有调整机构（2），所述底座（1）顶部前端一侧通过螺钉连接有控制面板（6），其特征在于：所述调整机构（2）包括纵向直线滑轨副（201）、横向直线滑轨副（202）、放置盘（203），所述纵向直线滑轨副（201）顶部设置有所述横向直线滑轨副（202），所述横向直线滑轨副（202）顶部通过螺栓连接有所述放置盘（203），所述放置盘（203）顶部中央开设有让位孔（2032），所述放置盘（203）顶部蚀刻有若干个与所述让位孔（2032）同心的环形刻度（2031），所述放置盘（203）一侧开设有上下贯穿所述放置盘（203）的让位槽（2033），且所述让位槽（2033）与所述让位孔（2032）连通，所述调整机构（2）后方设置有夹持机构（3），所述夹持机构（3）包括第一支撑板（301），所述第一支撑板（301）焊接在所述底座（1）顶部后端，所述第一支撑板（301）的立板前端设置有驱动晶圆转动的夹紧组件，所述第一支撑板（301）的顶板下方设置有对正设备本体（7），所述调整机构（2）一侧设置有划片机构（4），所述划片机构（4）包括第二支撑板（401）、气缸（402）、推板（403）、第二稳定杆（404），所述第二支撑板（401）焊接在所述底座（1）顶部一侧，所述第二支撑板（401）远离所述调整机构（2）的一侧通过螺栓连接有所述气缸（402），所述气缸（402）的输出端穿过所述第二支撑板（401），且通过螺栓连接有所述推板（403），所述推板（403）靠近所述气缸（402）的一侧顶部通过螺栓连接有所述第二稳定杆（404），所述第二稳定杆（404）远离所述推板（403）的一端穿过所述第二支撑板（401），且与所述第二支撑板（401）滑动连接，所述推板（403）靠近所述调整机构（2）的一侧设置有上下同步移动的划片组件。

2.根据权利要求1所述的一种机械加工用晶圆划片装置，其特征在于：所述夹紧组件包括第一双向气缸（302）、上夹板（303）、连接管（304）、上夹块（305）、下夹板（306）、连接杆（307）、下夹块（308）、转动电机（309），所述第一双向气缸（302）通过螺栓连接在所述第一支撑板（301）的立板前方，所述第一双向气缸（302）上方的输出端通过螺栓连接有所述上夹板（303），所述上夹板（303）远离所述第一双向气缸（302）的一端开设有安装孔一，该安装孔一内侧通过轴承连接有所述连接管（304），且所述连接管（304）下端延伸至所述上夹板（303）下方，所述连接管（304）下方通过螺钉连接有环形结构的所述上夹块（305），所述第一双向气缸（302）下方的输出端通过螺栓连接有所述下夹板（306），所述下夹板（306）远离所述第一双向气缸（302）的一端开设有安装孔二，该安装孔二内侧连接有所述连接杆（307），且所述连接杆（307）上端延伸至所述下夹板（306）上方，所述连接杆（307）顶部通过螺钉连接有所述下夹块（308），所述连接杆（307）下端通过键连接于所述转动电机（309）的输出端，所述转动电机（309）通过螺栓连接在所述下夹板（306）下方。

3.根据权利要求2所述的一种机械加工用晶圆划片装置，其特征在于：当所述上夹块（305）和所述下夹块（308）贴合时的贴合面高于所述放置盘（203）的顶面。

4.根据权利要求2所述的一种机械加工用晶圆划片装置，其特征在于：所述夹紧组件还包括第一稳定杆（310），所述第一稳定杆（310）焊接在所述底座（1）顶部，所述第一稳定杆（310）上端依次穿过所述下夹板（306）和所述上夹板（303），且与所述下夹板（306）和所述上夹板（303）滑动连接。

5.根据权利要求2所述的一种机械加工用晶圆划片装置，其特征在于：所述下夹块（308）的直径小于让位孔（2032）的直径。