[发明专利]一种准分子激光器金属氟化物捕获器净化效果检验装置

权利要求书

1.一种准分子激光器金属氟化物捕获器净化效果检验装置，其特征在于，包括：金属氟化物捕获器(10)、尘埃粒子计数器(20)和直流电源(50)；

所述金属氟化物捕获器(10)上设置有进气口(11)和排气口(12)；

进气口(11)通过进气管路(41)与气源(40)连接，用于向所述金属氟化物捕获器(10)内输入测试气体；

直流电源(50)与金属氟化物捕获器(10)电连接，用于形成捕获尘埃粒子的高压静电电场；

所述尘埃粒子计数器(20)通过排气管路(21)与所述金属氟化物捕获器(10)的排气口(12)连接，用于检测自金属氟化物捕获器(10)内排出气体的颗粒物含量。

2.根据权利要求1所述的准分子激光器金属氟化物捕获器净化效果检验装置，其特征在于，所述进气管路(41)上设置有用于限定气体单向通入所述金属氟化物捕获器(10)的第一单向阀(42)。

3.根据权利要求1所述的准分子激光器金属氟化物捕获器净化效果检验装置，其特征在于：所述直流电源(50)包括低压直流电源，高压转换模块和直流电压表，高压转换模块将低压直流电源提供的直流低压转换成0-10KV的直流高压，并输出稳定的直流电流。

4.根据权利要求1所述的准分子激光器金属氟化物捕获器净化效果检验装置，其特征在于，所述尘埃粒子计数器(20)包括空气泵和激光尘埃粒子传感器模块；

尘埃粒子计数器(20)包括气体入口和气体出口；尘埃粒子计数器(20)的气体入口通过排气管路(21)与所述金属氟化物捕获器(10)的排气口(12)连接；

尘埃粒子计数器(20)的气体出口通过回收管路(45)与气源(40)的气体进口连接。

5.根据权利要求1所述的准分子激光器金属氟化物捕获器净化效果检验装置，其特征在于，还包括过渡腔室(60)，过渡腔室(60)通过管路与尘埃粒子计数器(20)连接；所述金属氟化物捕获器(10)内的气体经排气口(12)以及管路通过尘埃粒子计数器(20)后输入所述过渡腔室(60)；

过渡腔室(60)内的气体通过管路经尘埃粒子计数器(20)检测后，可选择地返回所述金属氟化物捕获器(10)或所述气源(40)。

6.根据权利要求5所述的准分子激光器金属氟化物捕获器净化效果检验装置，其特征在于，测试时，检测步骤包括：

S10.关闭所述金属氟化物捕获器(10)的电源，将气源(40)内的测试气体输入所述金属氟化物捕获器(10)内，直至金属氟化物捕获器(10)内的气压达到设定工作压力值；

S20.将金属氟化物捕获器(10)内的测试气体输入所述过渡腔室(60)直至金属氟化物捕获器(10)内的气压达到设定真空度值，利用所述尘埃粒子计数器(20)检测测试气体的颗粒物含量；

S30.将过渡腔室(60)内的测试气体重新输入所述金属氟化物捕获器(10)内，直至过渡腔室(60)内气压达到设定真空度值；开启所述金属氟化物捕获器(10)的电源，并保持金属氟化物捕获器(10)内电压为设定工作电压；

S40.金属氟化物捕获器(10)工作设定时长后，关闭所述金属氟化物捕获器(10)的电源，将金属氟化物捕获器(10)内净化后测试气体再次输入所述过渡腔室(60)直至金属氟化物捕获器(10)内的气压达到设定真空度值，利用所述尘埃粒子计数器(20)检测净化后测试气体的颗粒物含量。

7.根据权利要求6所述的准分子激光器金属氟化物捕获器净化效果检验装置，其特征在于，步骤S30中，将过渡腔室(60)内的测试气体重新输入所述金属氟化物捕获器(10)内时，利用所述尘埃粒子计数器(20)再次检测测试气体的颗粒物含量。

8.根据权利要求6所述的准分子激光器金属氟化物捕获器净化效果检验装置，其特征在于，还包括如下步骤：

S50.将过渡腔室(60)内的净化后测试气体重新输入所述金属氟化物捕获器(10)内时，利用所述尘埃粒子计数器(20)再次检测净化后测试气体的颗粒物含量，直至过渡腔室(60)内气压达到设定真空度值。