[发明专利]一种准分子激光器金属氟化物捕获器净化效果检验装置

说明书

本发明提供了一种准分子激光器金属氟化物捕获器净化效果检验装置，其包括金属氟化物捕获器和尘埃粒子计数器；所述金属氟化物捕获器上设置有进气口和排气口；进气口通过进气管路与气源连接，用于向所述金属氟化物捕获器内输入测试气体；所述尘埃粒子计数器通过排气管路与所述金属氟化物捕获器的排气口连接，用于检测自金属氟化物捕获器内排出气体的颗粒物含量。本发明利用尘埃粒子计数器精确检测到电场捕获颗粒物的洁尘效果，以及结合气体流量调节和电场强度调节，可获得最佳的准分子激光器金属氟化物捕获器的最佳工作参数，提高了准分子激光器金属氟化物捕获器的合格率。

技术领域

本发明涉及激光技术领域，尤其是涉及一种准分子激光器金属氟化物捕获器净化效果检验装置。

背景技术

目前，在准分子激光器的放电腔模块中，需要用到除尘模块。由于放电过程中释放的金属颗粒与F₂反应形成金属氟化物等粉尘颗粒物会给箱体带来污染，通常会利用循环风扇将这些颗粒吹向金属氟化物捕获器(MFT)，在金属氟化物捕获器内部利用5KV高压电场将这些粉尘颗粒物捕获。金属氟化物捕获器一般为筒状壳体，壳体内设置有多个平行并排设置的除尘管，除尘管采用管-线结构:每个除尘管内设有除尘丝,在除尘丝施加负高压，除尘管接地设置，除尘管与除尘丝之间形成用于捕获尘埃粒子的高压电场，更带电粉尘漂移到管壁，从而清除粉尘净化气体的，然后将洁净处理后的气体又输送回放电区域，从而防止腔体污染，延长腔体的使用寿命。

而目前存在如下技术问题：

1)在实际使用情况下金属氟化物捕获器的实际除尘净化效果难以检测或测量；

2)由于无法检测，金属氟化物捕获器工作参数和性能无法根据净化效果进行调节，从而实现更好的净化效果。

发明内容

本发明的目的在于提供一种准分子激光器金属氟化物捕获器净化效果检验装置，以解决现有技术中存在的至少一个上述技术问题。

为解决上述技术问题，本发明提供的一种准分子激光器金属氟化物捕获器净化效果检验装置，包括：金属氟化物捕获器和尘埃粒子计数器和直流电源；

所述金属氟化物捕获器上设置有进气口和排气口；

进气口通过进气管路与气源连接，用于向所述金属氟化物捕获器内输入测试气体；

直流电源与金属氟化物捕获器电连接，用于形成捕获尘埃粒子的高压静电电场；

所述尘埃粒子计数器通过排气管路与所述金属氟化物捕获器的排气口连接，用于检测自金属氟化物捕获器内排出气体的颗粒物含量。

净化效果检测时，将气源内的气体通入金属氟化物捕获器内，通过开启关闭、或者调大调小金属氟化物捕获器内的电场，从而可以比较不同电场环境下金属氟化物捕获器的净化效果，简单而有效。

进一步地，所述进气管路上设置有用于限定气体单向通入所述金属氟化物捕获器的第一单向阀。

进一步地，所述直流电源包括低压直流电源，高压转换模块和直流电压表，高压转换模块将低压直流电源提供的直流低压转换成0-10KV的直流高压，并输出稳定的直流电流。

进一步地，所述金属氟化物捕获器包括筒状壳体，壳体内设置有多个平行并排设置的除尘管，除尘管内插装有除尘丝；除尘管接地设置，除尘丝与所述直流电源连接，除尘管与除尘丝之间形成用于捕获尘埃粒子的高压电场。

进一步地，多个所述除尘管之间并联设置。同样，多个除尘丝之间并联设置。

进一步地，在轴向上，所述进气口设置在所述金属氟化物捕获器的中部，所述排气口包括分别设置在所述金属氟化物捕获器左右两端的第一排气口和第二排气口。