[发明专利]测量装置

权利要求书

1.一种测量装置，其中，具备：

测距光射出部，向测定对象物射出测距光；

测距光光接收部，具有对来自所述测定对象物的反射测距光进行光接收的光接收元件；

追踪光射出部，向所述测定对象物射出追踪光；以及

追踪光光接收部，具有对来自所述测定对象物的反射追踪光进行光接收的追踪光接收元件，

所述测距光射出部和所述追踪光射出部具有：

第一偏转光学构件，以所述测距光和所述追踪光为同轴的方式来偏转所述测距光和所述追踪光中的任一个；以及

第二偏转光学构件，对所述测距光和所述追踪光进行反射并且使所述反射测距光和所述反射追踪光透射，

所述测距光光接收部和所述追踪光光接收部具有光接收棱镜，所述光接收棱镜设置在透射了所述第二偏转光学构件的所述反射测距光和所述反射追踪光的共同光路上，

该光接收棱镜被构成为在使所述反射测距光和所述反射追踪光进行多次内部反射之后，分离所述反射测距光和所述反射追踪光，使所述光接收元件对所述反射测距光进行光接收，并且，使所述追踪光接收元件对所述反射追踪光进行光接收。

2.根据权利要求1所述的测量装置，其中，

所述光接收棱镜具有：使所述反射测距光和所述反射追踪光进行内部反射的第一棱镜、以及使所述反射追踪光进行内部反射的第二棱镜，

所述第一棱镜与所述第二棱镜的边界面被构成为是与所述第一棱镜的所述反射测距光所射出的面相向的面，将所述边界面作为所述反射测距光和所述反射追踪光的分离面。

3.根据权利要求2所述的测量装置，其中，在所述分离面中设置有对所述反射测距光进行反射并且使所述反射追踪光透射的二向色滤光膜。

4.根据权利要求1所述的测量装置，其中，

所述测距光射出部具有发光元件，所述发光元件可将所述测距光的发光重复频率和脉冲的峰值功率切换为至少2个发光重复频率和脉冲的峰值功率，

所述测距光光接收部具有相对于所述反射测距光的光轴可装卸的光量调整构件，

该光量调整构件被构成为与所述发光重复频率和脉冲的峰值功率对应地调整所述反射测距光的光接收量。

5.根据权利要求4所述的测量装置，其中，

所述光量调整构件被构成为在中心部形成光量调整面并且在该光量调整面以外的部分形成全透射面，所述光量调整面形成有具有规定透射率的膜，所述全透射面形成有反射防止膜。

6.根据权利要求1所述的测量装置，其中，

所述第二偏转光学构件是具有规定板厚的多层膜光学元件，

该多层膜光学元件具有：处于与所述测距光射出部接近的位置的第一入射面、以及处于远离所述测距光射出部的位置的第二入射面，

在该第二入射面的所述测距光和所述追踪光的入射部分形成具有规定反射率的分束膜，在除了该分束膜之外的部分形成反射防止膜，

所述测距光和所述追踪光由所述分束膜反射，

所述反射测距光和所述反射追踪光被构成为通过所述分束膜和所述反射防止膜。

7.根据权利要求6所述的测量装置，其中，还具备：

激光指示器光射出部，向所述测定对象物照射激光指示器光；以及

摄像部，对由所述测定对象物反射的反射激光指示器光和背景光进行光接收，

所述激光指示器照射部和所述摄像部具有以所述激光指示器光和所述背景光为同轴的方式来偏转所述激光指示器光和所述背景光中的任一个的第三偏转光学构件，被构成为使所述激光指示器光、所述反射激光指示器光以及所述背景光由所述第一入射面反射。

8.根据权利要求7所述的测量装置，其中，

所述测距光和所述追踪光是不可见光，

所述激光指示器光是可见光，

在所述第一入射面设置有对可见光进行反射并且使不可见光透射的长通滤光器。