[发明专利]一种点胶质量检测装置、检测方法、电子设备和存储介质在审
申请号: | 202110853654.9 | 申请日: | 2021-07-27 |
公开(公告)号: | CN113567437A | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
发明(设计)人: | 金亚;徐长达;陈少康;齐艺超;陈伟;李明;祝宁华 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G01N21/84 | 分类号: | G01N21/84;G01N21/01 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 胶质 检测 装置 方法 电子设备 存储 介质 | ||
1.一种点胶质量检测装置,其特征在于,包括:
检测平台(1);
载物台(2),可旋转安装于所述检测平台(1)上;
基座(3),放置在所述载物台(2)上,所述基座(3)上设有预设位置用于点胶;
固定模块(4),安装于所述载物台(2)上,所述固定模块(4)用于固定所述基座(3);
透镜(5),放置在所述基座(3)的所述预设位置;
激光器(6),固定在所述透镜(5)上,所述激光器(6)与所述基座(3)位于所述透镜(5)的相对面,所述激光器(6)用于发出激光;
滑动导轨(7),安装在所述检测平台(1)上,垂直于所述载物台(2)和所述检测平台(1)的接触面;
探测模块(8),安装于所述滑动导轨(7)上,所述探测模块(8)的移动方向垂直于所述载物台(2)和所述基座(3)的接触面,所述探测模块(8)用于接收所述激光器(6)发出的激光。
2.根据权利要求1所述的点胶质量检测装置,其特征在于,在检测时,调整所述探测模块(8)和所述载物台(2),使所述激光器(6)的中心与所述探测模块(8)的中心在一条水平线上。
3.根据权利要求1所述的点胶质量检测装置,其特征在于,所述载物台(2)旋转时的轴线垂直于所述载物台(2)与所述检测平台(1)的接触面。
4.根据权利要求1所述的点胶质量检测装置,其特征在于,所述固定模块(4)包括至少两个固定块(40),每个所述固定块(40)的移动方向垂直于所述载物台(2)与所述基座(3)的接触面。
5.根据权利要求1所述的点胶质量检测装置,其特征在于,所述滑动导轨(7)包括限位模块(70),所述限位模块(70)用于固定所述探测模块(8)。
6.根据权利要求1所述的点胶质量检测装置,其特征在于,所述探测模块(8)包括至少一个探测器(80),所述至少一个探测器(80)以阵列的形式分布;
所述探测器(80)为光电探测器、积分球中任意一种。
7.一种点胶质量检测方法,其特征在于,利用如权利要求1-6任一项所述的点胶质量检测装置,所述方法包括:
将所述基座(3)放置在所述载物台(2)上;
利用所述固定模块(4)固定所述基座(3);
将所述透镜(5)放置在所述基座(3)的预设位置上;
将所述激光器(6)固定在所述透镜(5)上;
调整所述探测模块(8)和所述载物台(2),使所述激光器(6)的中心与所述探测模块(8)的中心在一条水平线上;
使所述激光器(6)通电;
记录和保存所述探测模块(8)接收到的第一光强分布图;
使所述激光器(6)断电;
移开所述透镜(5)和所述激光器(6);
在所述基座(3)的所述预设位置点胶;
将所述透镜(5)放置在点胶后的所述预设位置上;
继续执行所述将所述激光器(6)固定在所述透镜(5)上的步骤,直至采集到点胶后所述探测模块(8)接收到的第二光强分布图;
计算所述第一光强分布图的中心和所述第二光强分布图的中心之间的偏移量;
根据所述偏移量评估点胶质量。
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