[发明专利]一种点胶质量检测装置、检测方法、电子设备和存储介质在审
申请号: | 202110853654.9 | 申请日: | 2021-07-27 |
公开(公告)号: | CN113567437A | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
发明(设计)人: | 金亚;徐长达;陈少康;齐艺超;陈伟;李明;祝宁华 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G01N21/84 | 分类号: | G01N21/84;G01N21/01 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 胶质 检测 装置 方法 电子设备 存储 介质 | ||
本公开提供了一种点胶质量检测装置,该装置包括:检测平台;载物台,可旋转安装于检测平台上;基座,放置在载物台上,设有预设位置用于点胶;固定模块,安装于载物台上,用于固定基座;透镜,放置在基座的预设位置;激光器,固定在透镜上,与基座位于透镜的相对面,激光器用于发出激光;滑动导轨,安装在检测平台上,垂直于载物台和检测平台的接触面;探测模块,安装于滑动导轨上,探测模块的移动方向垂直于载物台和基座的接触面,用于接收激光器发出的激光。本公开通过计算点胶前后激光器照射在探测模块上的光强分布图的中心的偏移来判断点胶的质量,进而根据点胶质量调整出胶量,装置结构简单,检测方便,可以提高检测效率以及点胶质量。
技术领域
本公开涉及到光电器件封装领域,特别涉及到一种点胶质量检测装置、检测方法、电子设备和存储介质。
背景技术
随着5G时代的到来,光通信行业迎来更加蓬勃的发展时期。通信速率不断提高,对光电器件封装也提出了更加严格的要求。在光电器件封装过程中,光电芯片与光学透镜的耦合是决定器件性能的重要因素。两者的耦合主要依靠UV胶的胶结实现,出胶量的多少直接决定了点胶后透镜位置的偏移,进而影响光电芯片与透镜的对准,最终对整体器件性能产生重要影响。在工艺研发初期,如何快速确定点胶的最佳出胶量是亟待解决的重要难题,对该难题的研究具有十分重要的意义。现有的确定最佳出胶量的方案,多采用红外光谱法测量胶滴的吸收峰实现。成本高,且操作不易。
公开内容
(一)要解决的技术问题
针对现有技术的上述不足,本公开的主要目的在于提供一种点胶质量检测装置、检测方法、电子设备和存储介质,以期至少部分地解决上述技术问题中的至少之一。
(二)技术方案
为了实现上述目的,本公开提供了一种点胶质量检测装置,该装置包括:
检测平台;
载物台,可旋转安装于检测平台上;
基座,放置在载物台上,基座上设有预设位置用于点胶;
固定模块,安装于载物台上,固定模块用于固定基座;
透镜,放置在基座的预设位置;
激光器,固定在透镜上,激光器与基座位于透镜的相对面,激光器用于发出激光;
滑动导轨,安装在检测平台上,垂直于载物台和检测平台的接触面;
探测模块,安装于滑动导轨上,探测模块的移动方向垂直于载物台和基座的接触面,探测模块用于接收激光器发出的激光。
在一些实施例中,在检测时,调整探测模块和载物台,使激光器的中心与探测模块的中心在一条水平线上。
在一些实施例中,载物台旋转时的轴线垂直于载物台与检测平台的接触面。
在一些实施例中,固定模块包括至少两个固定块,每个固定块的移动方向垂直于载物台与基座的接触面。
在一些实施例中,滑动导轨包括限位模块,限位模块用于固定探测模块。
在一些实施例中,探测模块包括至少一个探测器,至少一个探测器以阵列的形式分布;
探测器为光电探测器、积分球中任意一种。
另一方面,本公开还提供了一种点胶质量检测方法,利用如上述的点胶质量检测装置,该方法包括:
将基座放置在载物台上;
利用固定模块固定基座;
将透镜放置在基座的预设位置上;
将激光器固定在透镜上;
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