[发明专利]一种抛光垫修整装置及抛光设备在审
申请号: | 202110858363.9 | 申请日: | 2021-07-28 |
公开(公告)号: | CN113458972A | 公开(公告)日: | 2021-10-01 |
发明(设计)人: | 刘福强;李伟;史霄;杨宽;舒福璋 | 申请(专利权)人: | 北京烁科精微电子装备有限公司 |
主分类号: | B24B53/12 | 分类号: | B24B53/12 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 秦广成 |
地址: | 100176 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 抛光 修整 装置 设备 | ||
1.一种抛光垫修整装置,其特征在于,包括:
支座(1);
摆臂(2),一端与支座(1)转动连接;
修整组件(3),设置在摆臂(2)的远离所述支座(1)的一端;所述修整组件(3)具有修整头(9);所述修整头(9)通过安装座设置所述摆臂(2)的一侧;所述修整头(9)相对于所述摆臂(2)做上下移动运动和旋转运动;
厚度检测组件,设置在修整组件(3)上;所述厚度检测组件具有接触式测距传感器;
防碰撞组件(24),设置在支撑座上;所述防碰撞组件具有防碰撞传感器(22)。
2.根据权利要求1所述的抛光垫修整装置,其特征在于,所述修整头(9)在第一驱动装置的驱动下发生上下移动;
所述第一驱动装置包括:
气缸(6),设置在导向支架的上端;所述导向支架的下端设置在弹簧座上;
花键轴(8),通过滑动块(7)与所述导向支架(5)滑动连接;所述花键轴(8)的一端适于与所述滑动块(7)转动连接,另一端滑动穿过所述安装座(4)与所述修整头(9)连接;
弹性件(15),套设在所述花键轴(8)上;所述弹性件(15)的一端与所述滑动块(7)抵接,另一端与所述弹簧座抵接;所述弹性件(15)具有驱动所述修整头(9)朝向气缸(6)驱动的反方向移动的驱动力。
3.根据权利要求2所述的抛光垫修整装置,其特征在于,所述修整头(9)在第二驱动装置的驱动下通过齿轮组发生旋转运动。
4.根据权利要求3所述的抛光垫修整装置,其特征在于,所述齿轮组具有第一齿轮(11)和第二齿轮(12);所述第一齿轮(11)与所述第二驱动装置的驱动端连接;所述第二齿轮(12)与所述花键轴连接。
5.根据权利要求4所述的抛光垫修整装置,其特征在于,还包括:
花键母(10),转动设置在所述安装座(4)内;所述第二齿轮套设在所述花键母上,且所述花键母与所述花键轴(8)滑动防转动连接。
6.根据权利要求3所述的抛光垫修整装置,其特征在于,所述防碰撞组件(24)包括:
放置槽,开设在所述安装座(4)上;
封板(21),盖设在所述放置槽的槽口处;所述封板(21)上开设有安装孔;
防碰撞传感器(22),设置在放置槽内;所述防碰撞传感器(22)的一端具有可伸缩的触发头(23),所述触发头(23)朝向所述安装孔伸出。
7.根据权利要求2所述的抛光垫修整装置,其特征在于,还包括:
压力传感器(17),设置在气缸(6)的驱动端和滑动块之间。
8.根据权利要求2所述的抛光垫修整装置,其特征在于,所述气缸(6)的驱动端和所述花键轴(8)之间通过浮动件(16)连接。
9.根据权利要求2所述的抛光垫修整装置,其特征在于,所述厚度检测组件包括:
接触式测距传感器,通过安装支架固定设置在滑动块(7)上;
测距传感器接触板(20),固定设置在所述弹簧座上。
10.一种抛光设备,其特征在于,包括权利要求1-9中任一项所述的抛光垫修整装置。
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