[发明专利]一种对沉积金刚石膜的基底预处理时的控制压力装置

权利要求书

1.一种对沉积金刚石膜的基底预处理时的控制压力装置，其特征在于：包括固定机构、升降机构和调压机构；

所述固定机构包括第一立柱(15)，所述第一立柱(15)顶部侧壁固接有第一固定块(2)，所述第一固定块(2)下方设置有第二固定块(4)，所述第二固定块(4)与所述第一立柱(15)滑接；所述第二固定块(4)上固接有若干调平部，若干所述调平部呈周向等距分布；所述第一立柱(15)内固接有第一电机(29)，所述第一电机(29)与所述第二固定块(4)传动连接；

所述升降机构包括固接在所述第一立柱(15)顶端的第二立柱(1)，所述第二立柱(1)远离所述第一固定块(2)的一侧滑接有移动架(10)，所述调压机构固接在所述移动架(10)上；所述移动架(10)上固接有第二电机(16)，所述第二电机(16)与所述第二立柱(1)传动连接；

所述调压机构包括固接在所述移动架(10)上的外壳(18)，所述外壳(18)竖直设置，所述外壳(18)顶部螺纹套设有端盖(17)；所述外壳(18)内滑接有调压部，所述调压部顶端转动连接有第一螺纹杆(9)，所述第一螺纹杆(9)顶端贯穿所述端盖(17)并与所述端盖(17)螺纹连接；所述调压部底端固接有第二螺纹杆(20)，所述第二螺纹杆(20)底端贯穿所述外壳(18)并与所述外壳(18)滑接；所述第二螺纹杆(20)底部螺纹套设有定位夹具；所述第二螺纹杆(20)外侧设置有环形压力检测组件，所述环形压力检测组件与所述外壳(18)底端外壁固接；

所述调压部包括与所述第一螺纹杆(9)转动连接的第一滑板(33)、与所述第二螺纹杆(20)固接的第二滑板(35)以及位于所述第一滑板(33)和第二滑板(35)之间的弹簧(34)；所述弹簧(34)两端分别与所述第一滑板(33)和所述第二滑板(35)固接，且所述第一滑板(33)与所述第二滑板(35)均与所述外壳(18)内壁滑接；

所述定位夹具包括螺纹套设在所述第二螺纹杆(20)上的基片夹具(11)，所述基片夹具(11)底端开设有放置槽；所述基片夹具(11)上方设置有定位螺母(12)，且所述定位螺母(12)螺纹套设在所述第二螺纹杆(20)上。

2.根据权利要求1所述的一种对沉积金刚石膜的基底预处理时的控制压力装置，其特征在于：所述调平部包括固接在所述第二固定块(4)底端的缸体(5)，所述缸体(5)内滑接有活塞(31)，所述活塞(31)顶端固接有活塞杆(22)，所述活塞杆(22)顶端贯穿所述第二固定块(4)并固接有调平组件；所述缸体(5)底端固接有进气口(6)和电子气压表(7)，所述进气口(6)和所述电子气压表(7)均与所述缸体(5)连通。

3.根据权利要求2所述的一种对沉积金刚石膜的基底预处理时的控制压力装置，其特征在于：所述调平组件包括与所述活塞杆(22)固接的球座(23)，所述球座(23)内铰接有球头(24)，所述球头(24)顶端固接有连杆，所述连杆顶端固接有固定板(25)。

4.根据权利要求1所述的一种对沉积金刚石膜的基底预处理时的控制压力装置，其特征在于：所述第二立柱(1)远离所述第二电机(16)的一侧固接有显示控制组件(8)，所述第一电机(29)、所述第二电机(16)、所述调平部和所述调压机构均与所述显示控制组件(8)电性连接。

5.根据权利要求1所述的一种对沉积金刚石膜的基底预处理时的控制压力装置，其特征在于：所述第一立柱(15)为中空结构，所述第一立柱(15)底部内壁固接有隔板，所述隔板顶端转动连接有丝杠(28)，所述丝杠(28)末端与所述第一立柱(15)顶端内壁固接；所述第一电机(29)固接在所述第一立柱(15)底端内壁，所述第一电机(29)的输出轴贯穿所述隔板与所述丝杠(28)底端轴接；所述丝杠(28)上螺纹套设有滑块(30)，所述滑块(30)贯穿所述第一立柱(15)并与所述第二固定块(4)固接。