[发明专利]测漏推车及测漏方法

权利要求书

1.一种测漏推车，其特征在于，至少包括：车体和设置于所述车体上的固定夹；

其中，所述车体用于放置待测漏组件；

所述固定夹用于固定所述车体与所述待测漏组件；

所述车体具有一测漏孔，所述测漏孔位于所述待测漏组件在所述车体上的投影区域内，所述测漏孔用于实现对所述待测漏组件进行测漏。

2.根据权利要求1所述的测漏推车，其特征在于，所述车体至少包括一箱体；所述箱体具有一底板和与所述底板连接的至少一个侧板；

所述测漏孔位于所述底板上，且所述固定夹位于所述至少一个侧板上；所述箱体用于放置所述待测漏组件。

3.根据权利要求2所述的测漏推车，其特征在于，所述底板上还设置有一凹槽，所述凹槽位于所述底板与所述待测漏组件的接触位置；

所述凹槽用于放置密封件，以通过所述密封件实现所述底板与所述待测漏组件之间的密封。

4.根据权利要求3所述的测漏推车，其特征在于，所述车体还包括一连接支架；所述测漏推车还包括可刹车万向轮；

所述连接支架的一端与所述箱体固定连接，所述连接支架用于支撑所述箱体；

所述连接支架的另一端与所述可刹车万向轮转动连接，所述可刹车万向轮使得所述测漏推车能够自由移动。

5.根据权利要求4所述的测漏推车，其特征在于，所述测漏推车还包括设置于所述连接支架之间的支撑台；

所述支撑台位于所述底板的投影区域内，且所述支撑台的面积小于或者等于所述底板的面积。

6.根据权利要求5所述的测漏推车，其特征在于，所述连接支架包括连接杆和调整脚架；

所述连接杆和所述调整脚架卡接，且所述连接杆与所述调整脚架能够相对移动；所述连接杆和所述调整脚架共同用于调节所述测漏推车的高度。

7.根据权利要求6所述的测漏推车，其特征在于，所述支撑台与所述调整脚架固定连接或者滑动连接；

所述调整脚架还用于调节所述支撑台的高度。

8.根据权利要求1所述的测漏推车，其特征在于，所述测漏孔通过法兰连接测漏管道的一端；

所述测漏管道的另一端分别连接真空泵和测漏仪，所述真空泵和所述测漏仪共同用于通过所述测漏管道和所述测漏孔对所述待测漏组件进行测漏。

9.根据权利要求1至8任一项所述的测漏推车，其特征在于，所述待测漏组件至少包括第一组件和第二组件；

其中，所述第一组件和所述第二组件分别为特定机台上的两个独立的部件。

10.根据权利要求9所述的测漏推车，其特征在于，所述第一组件包括腔室圆顶；所述第二组件包括喷气头；

所述腔室圆顶和所述喷气头为薄膜沉积机台上的两个独立的部件。

11.一种测漏方法，其特征在于，至少应用于上述权利要求1至10任一项所述的测漏推车；所述方法包括：

通过所述测漏推车对待测漏组件进行预测漏；

当所述预测漏结果满足要求时，在特定机台上对所述待测漏组件进行再次测漏。

12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，所述测漏推车至少包括车体和设置于所述车体上的固定夹；所述车体至少包括一箱体，所述箱体至少具有一底板，且所述底板上设置有一测漏孔和一凹槽；

所述通过所述测漏推车对待测漏组件进行预测漏，包括：

在所述凹槽中放置密封件；

通过所述密封件和所述固定夹，将所述待测漏组件密封固定于所述测漏推车上；

通过测漏管道连接所述测漏孔、真空泵和测漏仪；

通过所述真空泵和所述测漏仪对所述待测漏组件进行预测漏。