[发明专利]测漏推车及测漏方法

说明书

本申请实施例提供一种测漏推车及测漏方法，其中，测漏推车至少包括：车体和设置于所述车体上的固定夹；所述车体用于放置待测漏组件；所述固定夹用于固定所述车体与所述待测漏组件；所述车体具有一测漏孔，所述测漏孔位于所述待测漏组件在所述车体上的投影区域内，所述测漏孔用于实现对所述待测漏组件进行测漏。通过本申请实施例提供的测漏推车能够在机台外部实现对待测漏组件进行测漏，节约了时间成本和人力成本。

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，涉及但不限于一种测漏推车及测漏方法。

背景技术

薄膜沉积机台在腔室清洗保养(Preventive Maintenance，PM)时会对腔室顶部的盖子(Dome)和与腔室顶部的盖子连接的反应气体的喷嘴(Top injector)进行更换，并对下机的Dome和Top injector进行清洗，以便下次使用。

然而，由于Dome和Top injector均属于脆性陶瓷材料，在清洗过程中，Dome和Topinjector的表面容易产生划痕，而划痕会影响到Dome和Top injector隙合面的隙合可靠性，进而使得薄膜沉积机台的腔室泄漏率(chamber leak rate)增大，无法通过氦检漏试验(Helium leak test)，如此便需要重装Dome和Top injector，而每次重装都会消耗PM中的大部分时间且耽误其他PM项目的同时进行，从而增加了用料成本和时间成本。

发明内容

有鉴于此，本申请实施例提供一种测漏推车及测漏方法。

第一方面，本申请实施例提供一种测漏推车，至少包括：车体和设置于所述车体上的固定夹；

其中，所述车体用于放置待测漏组件；

所述固定夹用于固定所述车体与所述待测漏组件；

所述车体具有一测漏孔，所述测漏孔位于所述待测漏组件在所述车体上的投影区域内，所述测漏孔用于实现对所述待测漏组件进行测漏。

在一些实施例中，所述车体至少包括一箱体；所述箱体具有一底板和与所述底板连接的至少一个侧板；

所述测漏孔位于所述底板上，且所述固定夹位于所述至少一个侧板上；所述箱体用于放置所述待测漏组件。

在一些实施例中，所述底板上还设置有一凹槽，所述凹槽位于所述底板与所述待测漏组件的接触位置；

所述凹槽用于放置密封件，以通过所述密封件实现所述底板与所述待测漏组件之间的密封。

在一些实施例中，所述车体还包括一连接支架；所述测漏推车还包括可刹车万向轮；

所述连接支架的一端与所述箱体固定连接，所述连接支架用于支撑所述箱体；

所述连接支架的另一端与所述可刹车万向轮转动连接，所述可刹车万向轮使得所述测漏推车能够自由移动。

在一些实施例中，所述测漏推车还包括设置于所述连接支架之间的支撑台；

所述支撑台位于所述底板的投影区域内，且所述支撑台的面积小于或者等于所述底板的面积。

在一些实施例中，所述连接支架包括连接杆和调整脚架；

所述连接杆和所述调整脚架卡接，且所述连接杆与所述调整脚架能够相对移动；所述连接杆和所述调整脚架共同用于调节所述测漏推车的高度。

在一些实施例中，所述支撑台与所述调整脚架固定连接或者滑动连接；

所述调整脚架还用于调节所述支撑台的高度。

在一些实施例中，所述测漏孔通过法兰连接测漏管道的一端；