[发明专利]多工位除气炉的抽真空系统

权利要求书

1.一种多工位除气炉的抽真空系统，其特征在于：包括同时与每个石英钟罩(3)连接的主抽真空系统(1)以及同时与每个石英钟罩(3)连接的辅抽真空系统(2)，所述主抽真空系统(1)包括主真空泵(11)、位于所述主真空泵(11)进气口和每个石英钟罩(3)之间的主连接管道(12)以及安装在每条所述主连接管道(12)上用于控制主连接管道(12)通断的主开关阀(14)，每条所述主连接管道(12)上均连接有与外界大气连通的进气管道(15)，每条所述进气管道(15)上均安装有控制所述进气管道(15)通断的第一开关阀(151)；所述辅抽真空系统(2)包括辅真空泵(21)、连接在所述辅真空泵(21)进气口和每个石英钟罩(3)之间的辅连接管道(22)，每条所述辅连接管道(22)上均安装有控制所述辅连接管道(22)通断的辅开关阀(23)。

2.根据权利要求1所述的多工位除气炉的抽真空系统，其特征在于：所述主真空泵(11)和每个所述主连接管道(12)之间设置有真空腔室(13)。

3.根据权利要求1所述的多工位除气炉的抽真空系统，其特征在于：所述主真空泵(11)包括进气口与主连接管道(12)连接的第一分子泵(111)、进气口和第一分子泵(111)出气口连接的第一干泵(112)以及安装在所述第一干泵(112)进气口处的第一控制阀(113)。

4.根据权利要求3所述的多工位除气炉的抽真空系统，其特征在于：所述第一分子泵(111)和所述第一干泵(112)之间连接有第一波纹管(114)。

5.根据权利要求3所述的多工位除气炉的抽真空系统，其特征在于：所述第一分子泵(111)和所述第一干泵(112)之间连通有放气管道(116)，所述放气管道(116)上安装有放气阀(117)。

6.根据权利要求1所述的多工位除气炉的抽真空系统，其特征在于：所述主连接管道(12)上连通有一端与氮气连接的氮气管道(16)，所述氮气管道(16)上安装有第二开关阀(161)。

7.根据权利要求1所述的多工位除气炉的抽真空系统，其特征在于：所述主连接管道(12)上安装有对所述主连接管道(12)内压力进行检测的第一压力表(17)，所述第一压力表(17)位于所述主开关阀(14)和石英钟罩(3)之间。

8.根据权利要求1所述的多工位除气炉的抽真空系统，其特征在于：所述辅真空泵(21)包括进气口与辅连接管道(22)连接的第二分子泵(211)、进气口与第二分子泵(211)出气口连接的第二干泵(212)以及安装在第二干泵(212)进气口处的第二控制阀(213)。

9.根据权利要求8所述的多工位除气炉的抽真空系统，其特征在于：所述第二分子泵(211)和所述第二干泵(212)之间安装有第二波纹管(214)。

10.根据权利要求1所述的多工位除气炉的抽真空系统，其特征在于：所述辅连接管道(22)上安装有对所述辅连接管道(22)内压力进行检测的第二压力表(24)，所述第二压力表(24)位于所述辅开关阀(23)和石英钟罩(3)之间。