[发明专利]多工位除气炉的抽真空系统

说明书

本申请涉及一种多工位除气炉的抽真空系统，包括同时与每个石英钟罩连接的主抽真空系统以及同时与每个石英钟罩连接的辅抽真空系统，主抽真空系统包括主真空泵、位于主真空泵进气口和每个石英钟罩之间的主连接管道以及安装在每条主连接管道上用于控制主连接管道通断的主开关阀，每条主连接管道上均连接有与外界大气连通的进气管道，每条进气管道上均安装有控制进气管道通断的第一开关阀；辅抽真空系统包括辅真空泵、连接在辅真空泵进气口和每个石英钟罩之间的辅连接管道，每条辅连接管道上均安装有控制辅连接管道通断的辅开关阀。本申请能够实现在处理工件的过程中可以随时对任一石英钟罩内的工件进行更换，增加处理时的灵活性，提高工作效率。

技术领域

本申请涉及真空除气炉的领域，尤其是涉及一种多工位除气炉的抽真空系统。

背景技术

目前，在对一些工件进行热处理时，需要在真空状态下对工件进行加热，所使用的设备为通过真空除气炉为工件提高一个真空环境，然后通过加热装置为工件加热，从而达到对工件在真空环境下加热处理的目的。

目前所使用的真空除气炉有多个工位，每个工位均为用于放置工件的石英钟罩，用于对除气炉抽真空的系统直接与多个石英钟罩连接，通过抽真空系统对多个石英钟罩内部进行抽真空作业，同时通过加热装置依次对每个石英钟罩内部的工件进行隔空加热。当对工件处理完毕后，再将石英钟罩内部与外界空气连接，并更换新的工件进行处理。

针对上述中的相关技术，发明人认为：当对多个石英钟罩进行抽真空作业时，需要同时对多个石英钟罩进行抽真空作业，然后再通过加热装置轮流对每个石英钟罩内的工件进行加热处理，当对所有的石英钟罩内的工件处理完毕后，才能一起对所有的石英钟罩进行更换工件，操作非常麻烦，工作效率较低。

发明内容

为了实现在处理工件的过程中可以随时对任一石英钟罩内的工件进行更换，增加处理时的灵活性，提高工作效率，本申请提供一种多工位除气炉的抽真空系统。

本申请提供的一种多工位除气炉的抽真空系统采用如下的技术方案：

一种多工位除气炉的抽真空系统，包括同时与每个石英钟罩连接的主抽真空系统以及同时与每个石英钟罩连接的辅抽真空系统，所述主抽真空系统包括主真空泵、位于所述主真空泵进气口和每个石英钟罩之间的主连接管道以及安装在每条所述主连接管道上用于控制主连接管道通断的主开关阀，每条所述主连接管道上均连接有与外界大气连通的进气管道，每条所述进气管道上均安装有控制所述进气管道通断的第一开关阀；所述辅抽真空系统包括辅真空泵、连接在所述辅真空泵进气口和每个石英钟罩之间的辅连接管道，每条所述辅连接管道上均安装有控制所述辅连接管道通断的辅开关阀。

通过采用上述技术方案，当需要对工件进行处理时，可以直接将待处理的工件放置在石英钟罩内，然后打开主开关阀，主真空泵将对石英钟罩内部进行抽真空处理，然后通过加热装置对石英钟罩内的工件进行隔空加热，实现了对工件在真空环境下加热处理的需求。当对其中一个石英钟罩内的工件处理完毕后，移动加热装置对另一石英钟罩进行加热处理。此时，工作人员可以关闭与处理后石英钟罩连接的主开关阀，并打开第一开关阀，使得处理完毕的工件与外界大气连接，工作人员就可以取出该石英钟罩内的工件并更换新的工件，更换完成后，打开与该石英钟罩连通的辅开关阀，使得通过辅真空泵对该石英钟罩进行抽真空处理，直至该石英钟罩内的真空度达到要求。最后关闭与该石英钟罩连通的辅开关阀并打开与该石英钟罩连通的主开关阀，至此完成对其中一个石英钟罩内的工件进行更换，且根据此方法可以根据需要在对工件处理时，随时对任一石英钟罩内的工件进行更换，增加处理时的灵活性，大大提高了工作效率。

可选的，所述主真空泵和每个所述主连接管道之间设置有真空腔室。

通过采用上述技术方案，使得每条主连接管道都能够获得与主真空泵进口一致的管径，而无需为了将主真空泵与多个主连接管道连接而缩小主连接管道的管径，保证较高的抽真空效率。