[发明专利]一种针测机晶圆传输机构手臂

权利要求书

1.一种针测机晶圆传输机构手臂，包括固定座(1)和移动座(2)，其特征在于：所述固定座(1)和移动座(2)上均安装有两个夹持部，所述夹持部用于夹持晶圆，所述固定座(1)上安装有移动单元，所述移动单元用于所述移动座(2)移动；

所述固定座(1)上安装有清理驱动单元，所述清理驱动单元与所述夹持部相连接，所述清理驱动单元用于清理晶圆上的抛光液，所述固定座(1)上安装有抛光液排出单元，所述抛光液排出单元用于排出所述清理单元上的抛光液。

2.根据权利要求1所述的一种针测机晶圆传输机构手臂，其特征在于：四个所述夹持部包括分别固定连接于所述固定座(1)和移动座(2)上的一对固定管，四个所述固定管上均滑动连接有固定架(23)，四个所述固定架(23)的一端均固定连接有夹持板(3)，所述夹持板(3)的一侧为锥形结构，四个所述固定架(23)上均套接有夹紧弹簧(24)，位于所述固定座(1)一侧的所述夹紧弹簧(24)的一端与所述固定座(1)固定连接，位于所述移动座(2)一侧上的所述夹紧弹簧(24)的一端与所述移动座(2)固定连接，所述清理驱动单元与所述夹持板(3)相连接，所述移动单元与所述移动座(2)相连接。

3.根据权利要求2所述的一种针测机晶圆传输机构手臂，其特征在于：所述移动单元包括固定连接于所述移动座(2)上的固定板(6)，所述固定座(1)的一侧固定连接有支撑板(10)，所述支撑板(10)上固定连接有气缸组件(7)，所述固定座(1)上开设有滑孔，所述气缸组件(7)的伸缩端贯穿所述滑孔，并与所述固定板(6)固定连接。

4.根据权利要求2所述的一种针测机晶圆传输机构手臂，其特征在于：所述清理驱动单元包括相连接的驱动组件和清理组件，所述驱动组件包括分别转动连接于四个所述夹持板(3)上的滚轮(22)，位于所述固定座(1)一侧上的一对所述滚轮(22)上均固定连接有从动带轮(21)，所述固定座(1)的顶部转动连接有转动轴，所述转动轴上固定套接有驱动带轮(18)和从动齿轮(17)，所述固定座(1)的顶部开设有滑槽，所述滑槽内滑动连接有滑块，上所述滑块的顶部固定连接有固定轴，所述固定轴上转动套接有张紧带轮(19)，所述驱动带轮(18)、所述张紧带轮(19)、所述从动带轮(21)上张紧有同一个皮带(9)，所述滑槽内设置有张紧弹簧(20)，所述张紧弹簧(20)的两端分别与所述固定座(1)和所述滑块固定连接，所述固定座(1)的顶部设置有驱动电机(15)，所述驱动电机(15)的输出端固定连接有驱动齿轮(16)，所述驱动齿轮(16)与所述从动齿轮(17)相啮合，所述清理组件与所述驱动电机(15)相连接。

5.根据权利要求4所述的一种针测机晶圆传输机构手臂，其特征在于：所述清理组件包括固定套接于所述驱动电机(15)输出端上的保持杆(5)，所述保持杆(5)的底部固定连接有吸水海绵(4)，所述抛光液排出单元用于排出所述吸水海绵(4)上的抛光液。

6.根据权利要求5所述的一种针测机晶圆传输机构手臂，其特征在于：所述抛光液排出单元包括固定连接于所述固定座(1)上的清理板(8)，所述清理板(8)的底部固定连接有弧形凸起(26)，所述清理板(8)的底部开设有导液槽(11)，所述清理板(8)的顶部开设有排液槽(13)，所述清理板(8)内开设有与所述导液槽(11)和所述排液槽(13)相连通的排液腔(14)，所述清理板(8)一侧侧壁的顶部和底部均固定连接有排液管(12)，所述排液管(12)与收集箱相连接，所述弧形凸起(26)用于挤压所述吸水海绵(4)，使所述吸水海绵(4)上的抛光液排出。

7.根据权利要求6所述的一种针测机晶圆传输机构手臂，其特征在于：所述导液槽(11)和所述排液槽(13)均为倾斜设置。

8.根据权利要求6所述的一种针测机晶圆传输机构手臂，其特征在于：所述清理板(8)的一端固定连接有安装板(25)，所述驱动电机(15)固定连接在所述安装板(25)上。