[发明专利]一种晶体制备装置有效
申请号: | 202110870910.5 | 申请日: | 2020-06-24 |
公开(公告)号: | CN113584572B | 公开(公告)日: | 2022-05-10 |
发明(设计)人: | 王宇;官伟明;梁振兴;李敏 | 申请(专利权)人: | 眉山博雅新材料股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B15/28;C30B15/30 |
代理公司: | 成都七星天知识产权代理有限公司 51253 | 代理人: | 杨永梅 |
地址: | 620010 四川省眉*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶体 制备 装置 | ||
1.一种晶体制备装置,其特征在于,所述晶体制备装置包括:
炉膛;
温场,所述温场的一部分位于所述炉膛内,所述温场的另一部分位于所述炉膛外,所述温场与真空装置密封连接;
提拉杆,所述提拉杆的至少一部分位于所述温场内;以及
运动装置,所述运动装置与所述提拉杆传动连接以带动所述提拉杆上下运动和/或旋转。
2.一种晶体制备装置,其特征在于,所述晶体制备装置包括:
炉膛,所述炉膛包括炉盖,所述炉盖上设置第一通孔;
温场,所述温场通过所述第一通孔置于所述炉膛内,所述温场与真空装置密封连接;
提拉杆,所述提拉杆的至少一部分位于所述温场内;以及
运动装置,所述运动装置与所述提拉杆传动连接以带动所述提拉杆上下运动和/或旋转。
3.如权利要求1或2所述的晶体制备装置,其特征在于,所述炉膛为非密闭结构。
4.如权利要求1或2所述的晶体制备装置,其特征在于,
所述温场包括顶部开口;
所述顶部开口与顶部密封件密封连接,其中,所述顶部密封件包括第二通孔,所述温场通过所述第二通孔与所述真空装置密封连接。
5.如权利要求4所述的晶体制备装置,其特征在于,
所述温场包括底部开口;
所述底部开口与底部密封件密封连接。
6.如权利要求5所述的晶体制备装置,其特征在于,所述顶部密封件或所述底部密封件为冷却密封件,所述冷却密封件中通入冷却介质进行冷却。
7.如权利要求1或2所述的晶体制备装置,其特征在于,所述晶体制备装置还包括密封套管,以使所述提拉杆处于密闭环境,其中,所述密封套管的一端与所述温场顶部密封连接。
8.如权利要求7所述的晶体制备装置,其特征在于,所述密封套管的另一端与所述运动装置的滑块密封连接。
9.如权利要求1或2所述的晶体制备装置,其特征在于,所述温场包括:
第一筒;
第二筒,所述第二筒设置于所述第一筒内部;
填充体,所述填充体填充于所述第二筒内部和/或所述第二筒与所述第一筒之间的空隙中。
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