[发明专利]一种晶体制备装置有效

专利信息
申请号: 202110870910.5 申请日: 2020-06-24
公开(公告)号: CN113584572B 公开(公告)日: 2022-05-10
发明(设计)人: 王宇;官伟明;梁振兴;李敏 申请(专利权)人: 眉山博雅新材料股份有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B15/28;C30B15/30
代理公司: 成都七星天知识产权代理有限公司 51253 代理人: 杨永梅
地址: 620010 四川省眉*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 晶体 制备 装置
【权利要求书】:

1.一种晶体制备装置,其特征在于,所述晶体制备装置包括:

炉膛;

温场,所述温场的一部分位于所述炉膛内,所述温场的另一部分位于所述炉膛外,所述温场与真空装置密封连接;

提拉杆,所述提拉杆的至少一部分位于所述温场内;以及

运动装置,所述运动装置与所述提拉杆传动连接以带动所述提拉杆上下运动和/或旋转。

2.一种晶体制备装置,其特征在于,所述晶体制备装置包括:

炉膛,所述炉膛包括炉盖,所述炉盖上设置第一通孔;

温场,所述温场通过所述第一通孔置于所述炉膛内,所述温场与真空装置密封连接;

提拉杆,所述提拉杆的至少一部分位于所述温场内;以及

运动装置,所述运动装置与所述提拉杆传动连接以带动所述提拉杆上下运动和/或旋转。

3.如权利要求1或2所述的晶体制备装置,其特征在于,所述炉膛为非密闭结构。

4.如权利要求1或2所述的晶体制备装置,其特征在于,

所述温场包括顶部开口;

所述顶部开口与顶部密封件密封连接,其中,所述顶部密封件包括第二通孔,所述温场通过所述第二通孔与所述真空装置密封连接。

5.如权利要求4所述的晶体制备装置,其特征在于,

所述温场包括底部开口;

所述底部开口与底部密封件密封连接。

6.如权利要求5所述的晶体制备装置,其特征在于,所述顶部密封件或所述底部密封件为冷却密封件,所述冷却密封件中通入冷却介质进行冷却。

7.如权利要求1或2所述的晶体制备装置,其特征在于,所述晶体制备装置还包括密封套管,以使所述提拉杆处于密闭环境,其中,所述密封套管的一端与所述温场顶部密封连接。

8.如权利要求7所述的晶体制备装置,其特征在于,所述密封套管的另一端与所述运动装置的滑块密封连接。

9.如权利要求1或2所述的晶体制备装置,其特征在于,所述温场包括:

第一筒;

第二筒,所述第二筒设置于所述第一筒内部;

填充体,所述填充体填充于所述第二筒内部和/或所述第二筒与所述第一筒之间的空隙中。

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