[发明专利]一种光学转移装置及多层微纳器件加工方法

权利要求书

1.一种光学转移装置，其特征在于，包括：

第一调节机构，包括第一载物台和第一光学位移平台，所述第一载物台用于固定待贴装的第一样品，所述第一光学位移平台连接于所述第一载物台，用于移动所述第一载物台以调节第一样品的位置；

显微成像系统，包括显微镜和成像模块，所述显微镜能够对齐于所述第一载物台上的所述第一样品，所述成像模块用于对所述显微镜的成像可视化显示；

第二调节机构，包括第二载物台和第二光学位移平台，所述第二载物台包括压电陶瓷位移台和固定组件，所述固定组件连接于所述压电陶瓷位移台，用于固定待贴装的第二样品；所述压电陶瓷位移台连接于所述第二光学位移平台，所述第二光学位移用于移动所述压电陶瓷位移台以使第二样品位于所述显微镜和所述第一载物台之间。

2.根据权利要求1所述的光学转移装置，其特征在于，所述第一载物台包括加热台，所述加热台连接于所述第一光学位移平台，所述加热台上具有用于承载所述第一样品的工作面，所述加热台用于加热所述工作面上的所述第一样品。

3.根据权利要求2所述的光学转移装置，其特征在于，所述第一载物台还包括旋转台，所述加热台连接于所述旋转台，所述旋转台连接于所述第一光学位移平台，用于带动所述加热台旋转。

4.根据权利要求2所述的光学转移装置，其特征在于，还包括温控器，所述加热台内设置有加热件，所述加热件电连接于所述温控器。

5.根据权利要求1所述的光学转移装置，其特征在于，所述第一光学位移平台为三轴位移平台，能够沿X、Y、Z三个方向移动所述第一载物台。

6.根据权利要求1所述的光学转移装置，其特征在于，所述第二光学位移平台为三轴位移平台，能够沿X、Y、Z三个方向移动所述第二载物台。

7.根据权利要求1所述的光学转移装置，其特征在于，所述固定组件包括连接件、紧固件和透明载体，所述连接件通过所述紧固件连接于所述压电陶瓷位移台，所述透明载体的一部分夹紧固定于所述连接件和所述压电陶瓷位移台之间，另一部分悬置于所述压电陶瓷位移台的外部。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的光学转移装置，其特征在于，还包括控制系统，所述控制系统包括：

计算机，配置为：产生指示所述第一光学位移平台以第一设定方式移动所述第一载物台的第一指令、产生指示所述第二光学位移平台以第二设定方式移动所述第二载物台的第二指令、产生指示所述压电陶瓷位移台以第三设定方式步进的第三指令，以及接收所述成像模块的信号并对所述显微镜的成像可视化显示；

第一运动控制器，连接于第一光学位移平台，配置为与所述计算机通讯连接，并响应于所述第一指令控制所述第一光学位移平台移动所述第一载物台的操作；

第二运动控制器，连接于第二光学位移平台；配置为与所述计算机通讯连接，并响应于所述第二指令控制所述第二光学位移平台移动所述第二载物台的操作；

压电陶瓷控制器，连接于压电陶瓷位移台；配置为与所述计算机通讯连接，并响应于所述第三指令控制所述压电陶瓷位移台步进的操作。

9.一种多层微纳器件加工方法，其特征在于，应用于如权利要求1至8中任一项所述的光学转移装置，用于加工多层微纳器件，所述方法包括如下步骤：

将第一样品固定于所述第一载物台，将第二样品固定于所述固定件背离所述显微镜的一侧；

控制所述第一光学位移平台驱使所述第一载物台移动至所述第一样品与所述显微镜对齐，控制所述第二光学位移平台驱使所述第二载台移动至所述第二样品与所述第一样品对齐；

控制所述第二光学位移平台驱使所述第二载物台带动所述第二样品朝向所述第一载物台上的第一样品移动至设定位置，控制所述压电陶瓷位移台驱使所述第二样品以设定范围朝向所述第一样品步进，以将第二样品转移至第一样品上；

在驱使所述第一载物台和所述第二载物台移动的过程中，通过所述成像模块实时显示第一样品的形貌；

循环上述步骤，将下一个样品转移至所述第一样品上。

10.根据权利要求9所述的多层微纳器件加工方法，其特征在于，所述第一载物台配置连接于所述第一光学位移平台的旋转台，用于带动所述第一样品旋转；在一次转移完成后，通过旋转第一样品更换待贴装区，以及通过第一光学位移动所述第一载物台以调节第一样品的位置。