[发明专利]一种光学转移装置及多层微纳器件加工方法

说明书

本发明涉及微纳加工技术领域，公开了一种光学转移装置及多层微纳器件加工方法，光学转移装置包括第一调节机构、第二调节机构和显微成像系统。第一调节机构中，第一位移平台能够对第一载物台进行可控、可量化的移动。第二调节机构中，第二位移平台能够对第二载物台进行可控、可量化的移动。因此，在第一调节机构和第二调节机构的作用下，第一样品和第二样品能够相互对齐，并且，在驱使第一载物台和第二载物台移动的过程中，通过显微成像系统实时显示第一样品的形貌，从而可视化地实现微区贴装，克服了当前转移装置参数无法量化和精细控制的缺点，减少人为因素的影响，从而提高效率和质量。

技术领域

本发明涉及微纳加工技术领域，尤其是涉及一种光学转移装置及多层微纳器件加工方法。

背景技术

随着电子元器件进入纳米尺度，二维层状材料具有巨大的优势，层状材料异质结器件具有诸多传统器件不具有的奇异性质，通过设计异质结构可以实现特定的器件功能，因此，扩展对该材料功能的开发，将会对未来电子元器件领域产生积极的影响。目前，制作这类异质结器件需要利用微区光学对准设备，然而公知的光学转移平台由手动光学台及显微镜构成，通过手动调节实现对准，因此，器件制作过程中工艺参数不能量化和精细化，同时也会由于人为失误因素导致高失败率，也无法满足高效制作器件的要求。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种光学转移装置，能够对待贴装样品进行可量化的移动操作，减少人为因素的影响，从而提高效率和质量。

本发明还提出一种应用于该光学转移装置的多层微纳器件加工方法。

本发明第一方面实施例提供了一种光学转移装置，包括：

第一调节机构，包括第一载物台和第一光学位移平台，所述第一载物台用于固定待贴装的第一样品，所述第一光学位移平台连接于所述第一载物台，用于移动所述第一载物台以调节第一样品的位置；

显微成像系统，包括显微镜和成像模块，所述显微镜能够对齐于所述第一载物台上的所述第一样品，所述成像模块用于对所述显微镜的成像可视化显示；

第二调节机构，包括第二载物台和第二光学位移平台，所述第二载物台包括压电陶瓷位移台和固定组件，所述固定组件连接于所述压电陶瓷位移台，用于固定待贴装的第二样品；所述压电陶瓷位移台连接于所述第二光学位移平台，所述第二光学位移用于移动所述压电陶瓷位移台以使第二样品位于所述显微镜和所述第一载物台之间。

本发明实施例的光学转移装置至少具有如下有益效果：第一位移平台能够对第一载物台进行可控、可量化的移动，第二位移平台能够对第二载物台进行可控、可量化的移动，因此，在第一调节机构和第二调节机构的作用下，第一样品和第二样品能够相互对齐，并且，在驱使第一载物台和第二载物台移动的过程中，通过成像模块实时显示第一样品的形貌，从而可视化地实现微区贴装，克服了当前转移装置参数无法量化和精细控制的缺点，减少人为因素的影响，从而提高效率和质量。

根据本发明一些实施例的光学转移装置，所述第一载物台包括加热台，所述加热台连接于所述第一光学位移平台，所述加热台上具有用于承载所述第一样品的工作面，所述加热台用于加热所述工作面上的所述第一样品。

根据本发明一些实施例的光学转移装置，所述第一载物台还包括旋转台，所述加热台连接于所述旋转台，所述旋转台连接于所述第一光学位移平台，用于带动所述加热台旋转。

根据本发明一些实施例的光学转移装置，还包括温控器，所述加热台内设置有加热件，所述加热件电连接于所述温控器。

根据本发明一些实施例的光学转移装置，所述第一光学位移平台为三轴位移平台，能够沿X、Y、Z三个方向移动所述第一载物台。

根据本发明一些实施例的光学转移装置，所述第二光学位移平台为三轴位移平台，能够沿X、Y、Z三个方向移动所述第二载物台。