[发明专利]工作平台的上下料方法

权利要求书

1.一种用于光刻设备的工作平台的上下料方法，光刻设备还包括机架和安装在所述机架上的光学装置，所述机架可相对所述工作平台运动，其特征在于，所述方法包括：

S1、启动支撑组件使得所述支撑组件至少部分突伸出平台的工作面；

S2、使用托举件将工件移动至所述平台的工作面上，所述支撑组件支撑所述工件；

S3、将所述托举件脱离所述工件；

S4、打开与具有若干气孔的平台连接的泵体，所述泵体向所述若干气孔吹气，使得设置在所述气孔内的浮动组件在所述气孔内移动并至少部分突伸出所述工作面；

S5、关闭所述支撑组件使得所述支撑组件的上端面平行或低于所述工作面，所述浮动组件支撑所述工件；

S6、移动所述工件至目标位置，并将所述工件固定在所述工作面上；

S7、所述工件加工完成后，启动所述支撑组件，所述支撑组件至少部分突伸出平台的工作面，以支撑所述工件；

S8、将所述托举件插入到所述工件和所述工作面之间的间隙，以托举所述工件并将所述工件移离所述工作平台。

2.如权利要求1所述的工作平台的上下料方法，其特征在于，移动所述工件至目标位置的操作方法为：所述工件位于第一抵靠件和第二抵靠件之间，移动所述第一抵靠件和/或所述第二抵靠件，直到所述工件两侧分别与所述第一抵靠件和所述第二抵靠件抵靠。

3.如权利要求2所述的工作平台的上下料方法，其特征在于，所述平台上设置有至少一个滑槽，所述第一抵靠件和/或所述第二抵靠件在所述滑槽内移动。

4.如权利要求1所述的工作平台的上下料方法，其特征在于，将所述工件固定在所述工作面上的操作方法为：启动位于所述工件两侧的第一压边件和第二压边件，所述第一压边件和所述第二压边组件分别与所述工作面形成卡持槽口，从而将工件卡持在所述工作面上。

5.如权利要求4所述的工作平台的上下料方法，其特征在于，所述平台上设置有至少一个滑轨，所述第一压边件和/或所述第二压边件在所述滑轨内移动。

6.如权利要求1所述的工作平台的上下料方法，其特征在于，所述浮动组件突伸出所述工作面的距离小于所述支撑组件突伸出所述工作面的距离。

7.如权利要求1所述的工作平台的上下料方法，其特征在于，所述支撑组件包括至少两个，至少两个所述支撑组件相离设置以稳定支撑所述工件。

8.如权利要求1所述的工作平台的上下料方法，其特征在于，所述平台上开设有收容腔，所述收容腔在所述工作面上具有开口，所述支撑组件的上端面平行或低于所述工作面时，所述支撑组件封堵所述开口。

9.如权利要求1所述的工作平台的上下料方法，其特征在于，所述托举件连接在起重设备上。

10.如权利要求1所述的工作平台的上下料方法，其特征在于，所述目标位置位于所述工作面的顶角处。