[发明专利]工作平台的上下料方法

说明书

本申请涉及一种用于光刻设备的工作平台的上下料方法，包括：S1、启动支撑组件；S2、使用托举件将工件移动至平台的工作面上，支撑组件支撑工件；S3、将托举件脱离工件；S4、泵体向若干气孔吹气，使得设置在气孔内的浮动组件在气孔内移动并至少部分突伸出工作面；S5、关闭支撑组件使得支撑组件的上端面平行或低于工作面，浮动组件支撑工件；S6、移动工件至目标位置，并将工件固定在工作面上；S7、工件加工完成后，启动支撑组件，支撑组件至少部分突伸出工作面，以支撑工件；S8、将托举件插入到工件和工作面之间的间隙，以托举工件并将工件移离工作平台。该方法操作简单、省力，且可轻松实现大体积或较重工件的上下料，提高了工作平台的实用性。

技术领域

本发明涉及一种工作平台及光刻设备。

背景技术

光刻，也就是光学蚀刻，是将光照射在光反应材料上，使光反应材料发生反应，通常是依照特定的图案将光照射在光反应材料上以得到需要的结构。光刻一般也称为曝光，进行光刻的设备即光刻机或曝光机。

常见的被光刻对象为涂覆有光反应材料的网版、干膜或玻璃等。网版是将纱网固定在木框或钢框上，并在纱网上涂上光反应材料，该网版在经过曝光以及后续的处理后，可以用于印刷布匹。干膜是涂有光反应材料的薄膜，通常用于制造PCB板。涂有光反应材料的玻璃通常是用于制备显示屏。

网版、干膜、玻璃的重量都比较轻，1-3人即可完成搬运和上下料的工作。但是在一些特殊需求下，设备需要对质量、体积较大的对象进行光刻，例如钢板、大理石等。这类对象的长宽尺寸有2-3米，重量超过150Kg，无法通过人工搬运、上下料车运输或者流水线运输，所以需要新的设备和流程进行上下料。

但是，这类对象不能其在上安装吊钩进行吊装，只能用托举的方式搬运。托举方式是在大钢板等对象的底部用托举件向上举起大钢板，但是当运到工作平台上时，托举件无法直接脱离大钢板，造成大钢板无法放置到平台上。

发明内容

本发明的目的在于提供操作简单、省力、且可轻松实现大体积或大重量工件托举上下料的工作平台的上下料方法。

为达到上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于光刻设备的工作平台的上下料方法，光刻设备还包括机架和安装在所述机架上的光学装置，所述机架可相对所述工作平台运动，所述方法包括：

S1、启动支撑组件使得所述支撑组件至少部分突伸出平台的工作面；

S2、使用托举件将工件移动至所述平台的工作面上，所述支撑组件支撑所述工件；

S3、将所述托举件脱离所述工件；

S4、打开与具有若干气孔的平台连接的泵体，所述泵体向所述若干气孔吹气，使得设置在所述气孔内的浮动组件在所述气孔内移动并至少部分突伸出所述工作面；

S5、关闭所述支撑组件使得所述支撑组件的上端面平行或低于所述工作面，所述浮动组件支撑所述工件；

S6、移动所述工件至目标位置，并将所述工件固定在所述工作面上；

S7、所述工件加工完成后，启动所述支撑组件，所述支撑组件至少部分突伸出平台的工作面，以支撑所述工件；

S8、将所述托举件插入到所述工件和所述工作面之间的间隙，以托举所述工件并将所述工件移离所述工作平台。

进一步地，移动所述工件至目标位置的操作方法为：所述工件位于第一抵靠件和第二抵靠件之间，移动所述第一抵靠件和/或所述第二抵靠件，直到所述工件两侧分别与所述第一抵靠件和所述第二抵靠件抵靠。

进一步地，所述平台上设置有至少一个滑槽，所述第一抵靠件和/或所述第二抵靠件在所述滑槽内移动。