[发明专利]一种热色相变薄膜材料的原位红外ATR测试方法

权利要求书

1.一种原位样品台，其特征在于，包括底座、冷却盒、快速变温模块、样品台和保温上盖，所述的底座设有一隔热的凹陷部，冷却盒设置于凹陷部内，冷却盒的一侧设有冷却水管，快速变温模块紧贴设置在冷却盒正上方，样品台以封闭凹陷部的方式设置于快速变温模块上方，样品台设有用于放置样品的样品凹槽，样品台的顶部设置有保温上盖。

2.根据权利要求1所述的原位样品台，其特征在于，所述的快速变温模块采用半导体材料制成，快速变温模块的温度变化速率高达2-10℃/S。

3.根据权利要求1所述的原位样品台，其特征在于，样品台设有导线口和冷却水管口，导线一端连接所述的快速变温模块，另一端通过导线口外接温控仪，冷却盒的一侧分别设有冷却水进水管和冷却水出水管，冷却水进水管和冷却水出水管通过冷却水管口与冷却盒连接。

4.根据权利要求1所述的原位样品台，其特征在于，所述的样品凹槽上方还设有用于减缓热扩散的隔热板，该隔热板对应放置样品位置开口，所述的样品凹槽的深度大于样品的厚度。

5.根据权利要求1所述的原位样品台，其特征在于，所述的底座为一体成型结构，底座采用隔热材料制成。

6.一种热色相变薄膜材料的原位红外ATR测试装置，其特征在于，包括权利要求1所述的原位样品台、物镜锲型槽、ATR物镜、第一凹面反射物镜、第二凹面反射物镜、第一凸面反射物镜和第二凸面反射物镜，ATR物镜通过物镜锲型槽设置于原位样品台正上方的测试位置，红外入射光经过第一凸面反射镜、第一凹面反射镜后进入ATR物镜的物镜晶体后再全反射后经第二凹面反射镜、第二凸面反射镜后返回进行ATR测试。

7.一种热色相变薄膜材料的原位红外ATR测试方法，其特征在于，通过权利要求6所述的热色相变薄膜材料的原位红外ATR测试装置来实现，包括如下步骤：

S1、将原位样品台安装到载物平台上，并通过旋转定位锁定原位样品台；

S2、薄膜样品基底面向下并平放于样品凹槽内，定位需要检测的样品区域；

S3、载物平台降到合适位置，在物镜锲型槽内插入ATR物镜并推进到测试位置；

S4、下降ATR物镜，保持一定压力，测试采用标准压力模式，使ATR物镜晶体与薄膜样品有效接触；

S5、原位样品台通过程序控温程序对薄膜样品进行均匀加热和冷却；

S6、在不同的温度点进行红外测试，采集红外谱图。

8.根据权利要求7所述的热色相变薄膜材料的原位红外ATR测试方法，其特征在于，步骤S3具体包括如下步骤：

S31、所述的载物平台降到合适位置，保证原位样品台与仪器顶部物镜锲型槽之间的高度大于ATR物镜的高度；

S32、在物镜锲型槽内插入ATR物镜并推进到测试位置，使ATR物镜晶体的顶端在原位样品台样品测试区域开口正上方。

9.根据权利要求7所述的热色相变薄膜材料的原位红外ATR测试方法，其特征在于，步骤S4具体包括如下步骤：下降ATR物镜，ATR物镜与薄膜样品保持一定压力，测试采用标准压力模式，使物镜晶体与样品有效接触，并保证样品形貌完好。

10.根据权利要求7所述的热色相变薄膜材料的原位红外ATR测试方法，其特征在于，步骤S5具体包括如下步骤：原位样品台的上方设置具有样品检测区开口的保温上盖，通快速变温模块进行样品加热和冷却，实现对薄膜样品进行均匀加热和冷却。