[发明专利]一种方便限位的芯片加工用基板拱度测量仪在审
| 申请号： | 202110874982.7 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN114496894A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 邓泽龙;冯小平;许新星 | 申请（专利权）人： | 苏州圭石科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L21/66 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 方便 限位 芯片 工用 基板拱度 测量仪 | ||
1.一种方便限位的芯片加工用基板拱度测量仪，包括承台板(1)和滑轨(2)，其特征在于：所述承台板(1)的顶部安装有四组立杆(201)，所述立杆(201)的顶部安装有滑轨(2)，所述滑轨(2)的两侧安装有封板(202)，所述封板(202)的一侧安装有固定底板(301)，所述滑轨(2)的外侧活动安装有横向滑块(4)；
所述承台板(1)的顶部安装有芯片槽板(6)，所述芯片槽板(6)的正面安装有活动卡扣(601)，所述芯片槽板(6)背面的顶部安装有转轴(602)，所述转轴(602)的外侧活动安装有盖板(603)。
2.根据权利要求1所述的一种方便限位的芯片加工用基板拱度测量仪，其特征在于：所述封板(202)的两侧贯穿安装有两组速装螺栓(203)。
3.根据权利要求1所述的一种方便限位的芯片加工用基板拱度测量仪，其特征在于：所述固定底板(301)的顶部安装有伺服电机(3)，伺服电机(3)的顶部安装有接线盒(302)，伺服电机(3)的输出端安装有横向螺杆(303)。
4.根据权利要求1所述的一种方便限位的芯片加工用基板拱度测量仪，其特征在于：所述横向滑块(4)的顶部安装有两组活动螺母(401)，横向滑块(4)的背面安装有小电机(402)，小电机(402)的输出端安装有纵向螺杆(403)，纵向螺杆(403)外表面的底部安装有纵向滑块(404)，且纵向滑块(404)位于横向滑块(4)的内侧，纵向滑块404的底部安装有安装板(501)。
5.根据权利要求4所述的一种方便限位的芯片加工用基板拱度测量仪，其特征在于：所述安装板(501)的底部安装有扫描仪(5)，扫描仪(5)的正面安装有显示屏(502)，扫描仪(5)的一侧安装有三组数据接口(503)，扫描仪(5)的一侧安装有电源接口(504)，且电源接口(504)位于数据接口(503)的一侧，扫描仪(5)的底部安装有扫描口(505)，扫描仪(5) 的底部安装有接收口(506)，且接收口(506)位于扫描口(505)的一侧。
6.根据权利要求1所述的一种方便限位的芯片加工用基板拱度测量仪，其特征在于：所述盖板(603)的正面安装有若干组固定块(604)，盖板(603)的顶部安装有三组固定卡块(605)。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州圭石科技有限公司，未经苏州圭石科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110874982.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：固态图像感测器
- 下一篇：速溶罗汉果固体饮料指纹图谱的检测方法
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
