[发明专利]微机电系统麦克风、麦克风单体及电子设备

权利要求书

1.一种微机电系统麦克风，包括：

磁体支撑件；

设置在磁体支撑件上的可移动部件，其中，在可移动部件上设置有磁体；以及

第一磁阻支撑件，其中，第一磁阻被设置在第一磁阻支撑件上；

其中，该可移动部件能随声压的变化而移动，从而使得磁体相对于第一磁阻移动，从而改变第一磁阻的阻值，由此产生对应的声音信号，

其中，在第一磁阻和磁体构成的工作平面上，以从磁体的S极到N极的方向为该工作平面的法线方向，沿第一磁阻的电流方向，磁体位于第一磁阻的左侧，以及

其中，沿所述工作平面，第一磁阻的宽度是CD1，所述磁体和第一磁阻之间的最小间距是CD2，以及CD1和CD2的关系如下：CD2≤3×CD1。

2.根据权利要求1所述的微机电系统麦克风，其中，CD2≤2×CD1或者CD2≤CD1。

3.根据权利要求1所述的微机电系统麦克风，其中，第一磁阻的电流密度大于10⁶A/cm²。

4.根据权利要求1所述的微机电系统麦克风，其中，第一磁阻的电流密度大于5×10⁶A/cm²。

5.根据权利要求1-4中的任何一个所述的微机电系统麦克风，还包括：

第二磁阻支撑件，其中，第二磁阻被设置在第二磁阻支撑件上，

其中，当可移动部件随声压的变化而移动时，磁体相对于第二磁阻移动，从而改变第二磁阻的阻值，由此产生对应的声音信号，

其中，第二磁阻位于所述工作平面中，以及在所述工作平面中，第一磁阻和第二磁阻相对于所述磁体对称，以及

其中，第一磁阻中的电流方向和第二磁阻中的电流方向相反。

6.根据权利要求5所述的微机电系统麦克风，其中，第二磁阻的电流密度大于10⁶A/cm²。

7.根据权利要求5所述的微机电系统麦克风，其中，所述磁体在第一磁阻和/或第二磁阻处产生的磁场强度大于等于10Oe。

8.根据权利要求5所述的微机电系统麦克风，其中，在第一磁阻支撑件上还设置有第三磁阻，在第二磁阻支撑件上还设置有第四磁阻，

其中，当可移动部件随声压的变化而移动时，磁体相对于第三磁阻和第四磁阻移动，从而改变第三磁阻和第四磁阻的阻值，由此产生对应的声音信号，

其中，第三磁阻和第四磁阻位于所述工作平面中，以及在所述工作平面中，第三磁阻和第四磁阻相对于所述磁体对称，

其中，第三磁阻的电流方向与第一磁阻的电流方向相同，以及第四磁阻的电流方向与第二磁阻的电流方向相同，以及

其中，在所述工作平面中，第三磁阻和第四磁阻的宽度是CD3，所述磁体和第三磁阻之间的最小间距是CD4，CD3和CD4的关系是CD4≤3×CD3，

其中，第一磁阻、第二磁阻、第三磁阻和第四磁阻构成惠斯通电桥的全桥电路，以输出差分声音输出信号。

9.一种麦克风单体，包括单体外壳、根据权利要求1所述的微机电系统麦克风以及集成电路芯片，其中，所述微机电系统麦克风以及集成电路芯片被设置在所述单体外壳中。

10.一种电子设备，包括根据权利要求9所述的麦克风单体。