[发明专利]微机电系统麦克风、麦克风单体及电子设备

说明书

这里公开了一种微机电系统麦克风、麦克风单体及电子设备。该微机电系统麦克风包括：设置在磁体支撑件上的可移动部件，其中，在可移动部件上设置有磁体；以及第一磁阻支撑件，其中，第一磁阻被设置在第一磁阻支撑件上，在第一磁阻和磁体构成的工作平面上，以从磁体的S极到N极的方向为该工作平面的法线方向，沿第一磁阻的电流方向，磁体位于第一磁阻的左侧，沿所述工作平面，第一磁阻的宽度是CD1，所述磁体和第一磁阻之间的最小间距是CD2，以及CD1和CD2的关系如下：CD2≤3×CD1。

技术领域

这里公开的实施例涉及微机电系统(MEMS)麦克风技术领域，更具体地，涉及一种微机电系统麦克风、麦克风单体及电子设备。

背景技术

随着技术的发展，技术人员开始将磁阻应用于微机电系统麦克风。磁阻例如可以包括巨磁阻(GMR)、隧穿磁阻(TMR)等。技术人员预期利用磁阻可以制造小型化的高性能/可靠产品。

磁学材料的性质比较复杂。磁阻材料在实际应用时往往会遇到在理论研究时无法预测的实际问题。在通常情况下，很难确定磁学元件产生问题的原因，因此，也很难找到解决这种问题的技术方案。

发明内容

本公开的一个目的是提供的用于微机电系统麦克风的新技术方案。

根据本公开的第一方面，提供了一种微机电系统麦克风，包括：磁体支撑件；设置在磁体支撑件上的可移动部件，其中，在可移动部件上设置有磁体；以及第一磁阻支撑件，其中，第一磁阻被设置在第一磁阻支撑件上；其中，该可移动部件能随声压的变化而移动，从而使得磁体相对于第一磁阻移动，从而改变第一磁阻的阻值，由此产生对应的声音信号，其中，在第一磁阻和磁体构成的工作平面上，以从磁体的S极到N极的方向为该工作平面的法线方向，沿第一磁阻的电流方向，磁体位于第一磁阻的左侧，以及其中，沿所述工作平面，第一磁阻的宽度是CD1，所述磁体和第一磁阻之间的最小间距是CD2，以及CD1和CD2的关系如下：CD2≤3×CD1。

根据本公开的第二方面，提供了一种麦克风单体，包括单体外壳、根据实施例所述的微机电系统麦克风以及集成电路芯片，其中，所述微机电系统麦克风以及集成电路芯片被设置在所述单体外壳中。

根据本公开的第三方面，提供了一种电子设备，包括根据实施例所述的麦克风单体。

根据本公开的实施例，可以提高微机电系统麦克风的灵敏度。

通过以下参照附图对本公开的示例性实施例的详细描述，本公开的其它特征及其优点将会变得清楚。

附图说明

被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本公开的实施例，并且连同其说明一起用于解释本公开的原理。

图1是根据本公开的一个实施例的微机电系统麦克风的示意性顶视图。

图2是沿图1中的虚线a-a’的剖面图。

图3是根据本公开的另一个实施例的微机电系统麦克风的示意性顶视图。

图4是包括图1的实施例中的磁阻的惠斯通电桥的示意性电路图。

图5-7是解释根据本公开的实施例的原理的示意图。

图8是说明根据本公开的实施例的效果的示意性曲线图。

图9是说明根据本公开的实施例的磁场变化的示意图。

图10是根据本公开的一个实施例的麦克风单体的示意图。

图11是根据本公开的一个实施例的电子设备的示意图。

具体实施方式

现在将参照附图来详细描述本公开的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本公开的范围。