[发明专利]三氯氢硅除碳反应-选择性吸附耦合装置及方法

权利要求书

1.一种三氯氢硅除碳反应-选择性吸附耦合方法，其特征是，三氯氢硅、甲基二氯硅烷和氯源由三氯氢硅-甲基二氯硅烷-氯源原料罐通过进料泵，经三氯氢硅-甲基二氯硅烷-氯源预热器后于底部进入甲基二氯硅烷-氯源反应吸附塔，甲基二氯硅烷和氯源在甲基二氯硅烷-氯源反应吸附塔内发生反应，转化为甲基三氯硅烷高沸点的物质，甲基二氯硅烷-氯源反应吸附塔内的吸附剂选择性不吸附甲基三氯硅烷，吸附塔内催化反应和选择性吸附同时进行；甲基二氯硅烷-氯源反应吸附塔顶部出料部分作为甲基三氯硅烷产品，进入甲基三氯硅烷产品罐，再由甲基三氯硅烷产品泵采出；甲基三氯硅烷不断采出使得甲基二氯硅烷不断反应，最终达到除碳的目的；氯源经氯源进料泵于顶部进入甲基二氯硅烷-氯源反应吸附塔，进行解吸过程；甲基二氯硅烷-氯源反应吸附塔塔底排除解吸液。

2.如权利要求1所述的方法，其特征是，甲基二氯硅烷-氯源反应吸附塔内填充的具有催化作用的吸附剂采用树脂、硅铝凝胶或改性活性炭。

3.如权利要求1所述的方法，其特征是，氯源采用四氯化硅、氯化氢、四氯化碳，或上述物质的混合物。

4.如权利要求1所述的方法，其特征是，甲基二氯硅烷-氯源反应吸附塔塔压范围为0.1～1.5MPa(G)，反应吸附塔控制温度范围为60～160℃。

5.如权利要求3所述的方法，其特征是，甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、三氯氢硅和氯源的吸附过程采用气相或液相。

6.如权利要求1所述的方法，其特征是，甲基二氯硅烷-氯源反应吸附塔双塔并联使用，具有集成吸附剂、催化剂在一起的功能。