[发明专利]一种用于集成电路的激光打标系统及其方法

权利要求书

1.一种用于集成电路的激光打标系统，其特征在于：包括承载基座（1）、作业台（2）、密封盖（3）、激光打标头（4）、多轴调节机构（5）、导向滑槽（6）、承载夹具（7）、打标编程器（8）及控制驱动电路（9），所述的承载基座（1）为轴线与水平面垂直分布的闭合腔体结构，所述作业台（2）嵌于承载基座（1）上端面并与承载基座（1）上端面同轴分布，所述作业台（2）前端面及后端面均设导向口（10），所述导向口（10）对应的承载基座（1）前端面及后端面分别设上料口（11）和出料口（12），且导向口（10）分别与上料口（11）和出料口（12）连通，所述密封盖（3）与承载基座（1）上端面铰接，与承载基座（1）同轴分布时包覆在作业台（2）上端面，并与作业台（2）构成横断面呈矩形的密闭腔体结构，所述多轴调节机构（5）嵌于密封盖（3）内，与密封盖（3）侧壁内表面连接并与密封盖（3）同轴分布，所述激光打标头（4）至少一个，通过多轴调节机构（5）与密封盖（3）下端面滑动连接，并嵌于作业台（2）内，其光轴与作业台（2）底部间呈0°—180°夹角，所述导向滑槽（6）共两条，嵌于作业台（2）内并对称分布在导向口（10）轴线两侧并与导向口（10）轴线平行分布，且导向滑槽（6）两端通过上料口（11）和出料口（12）位于承载基座（1）外至少1厘米，所述承载夹具（7）若干，位于两导向滑槽（6）之间并沿导向滑槽（6）轴线方向分布，且所述承载夹具（7）与导向滑槽（6）间通过行走机构（13）滑动连接，所述打标编程器（8）与密封盖（3）上端面铰接，其操作界面与密封盖（3）上端面呈0°—90°夹角，所述控制驱动电路（9）嵌于承载基座（1）侧表面外，并分别与激光打标头（4）、多轴调节机构（5）、打标编程器（8）及行走机构（13）电气连接；

所述的承载夹具（7）包括承载座（71）、伸缩驱动机构（72）、承载臂（73）、弹性绝缘网（74）、弹性绝缘垫块（75）、压力传感器（76）及伸缩量传感器（77），所述承载座（71）为横断面呈“L”型的槽状结构，并通过伸缩驱动机构（72）连接，且伸缩驱动机构（72）轴线与承载座（71）中点相交并于承载座（71）轴线垂直分布，所述弹性绝缘网（74）和承载臂（73）均位于两承载座（71）之间，并与两承载座（71）侧表面连接，且所述弹性绝缘网（74）位于伸缩驱动机构（72）上方并与承载座（71）槽底平行分布，所述承载臂（73）共两条，对称分布在伸缩驱动机构（72）轴线两侧，所述承载臂（73）包括弹性铰链（732）及连杆（731），所述连杆（731）共两条，两连杆（731）前端面间通过弹性铰链（732）铰接，后端面通过弹性铰链（732）与承载座（71）侧表面铰接，且与连杆（731）前端面连接，弹性铰链（732）位于两承载座（71）连线中点位置，所述弹性绝缘垫块（75）若干，分别均布在承载臂（73）、弹性绝缘网（74）上端面及承载座（71）的槽底及侧壁上，所述压力传感器（76）嵌与两承载座（71）槽壁内并与槽壁同轴分布，所述伸缩量传感器（77）与伸缩驱动机构（72）连接，所述伸缩驱动机构（72）、压力传感器（76）及伸缩量传感器（77）均与控制驱动电路（9）电气连接。