[发明专利]一种研磨组合物及其应用

权利要求书

1.一种研磨组合物，其特征在于，所述研磨组合物包括复合磨粒和研磨液；

所述复合磨粒包括氧化物研磨料、碳化物磨粒和金刚石磨粒；

所述氧化物磨粒的粒度为3-5μm；

所述碳化物磨粒的粒度为8-12μm；

所述金刚石磨粒的粒度为0.1-1μm。

2.如权利要求1所述的研磨组合物，其特征在于，所述复合磨粒中氧化物研磨料、碳化物磨粒和金刚石磨粒的质量比为1:(2-3):(0.2-0.7)；

优选地，所述研磨组合物中研磨液的质量百分比含量为0.15-0.3％。

3.如权利要求要求1或2所述的复合研磨组合物，其特征在于，所述氧化物磨料包括氧化铝、氧化铈、氧化锆、氧化锰或氧化钛中的任意1种或至少2种的组合；

优选地，所述碳化物磨粒包括碳化硅、碳化锆、碳化硼、碳化钨或碳化钛中的任意1种或至少2种的组合；

优选地，所述研磨液包括二氧化硅研磨液。

4.如权利要求1-3任一项所述复合研磨组合物的应用，其特征在于，所述应用包括对钼蒸发料采用所述复合研磨组合物进行研磨处理；

所述研磨处理包括依次进行的第一研磨和第二研磨。

5.如权利要求4所述的应用，其特征在于，所述钼蒸发料进行第一研磨前进行清洗处理；

优选地，所述清洗处理包括依次进行的溶剂清洗和超声清洗。

6.如权利要求5所述的应用，其特征在于，所述溶剂清洗中采用的溶剂为有机溶剂；

优选地，所述溶剂清洗的时间为5-25min；

优选地，所述超声清洗的介质包括水和/或洗涤剂；

优选地，所述超声清洗的温度为45-65℃；

优选地，所述超声清洗的时间为10-45min。

7.如权利要求4-6任一项所述的应用，其特征在于，所述研磨中钼蒸发料和复合研磨组合物的质量比为(1-3):(5-15)；

优选地，所述研磨中物料的体积为研磨装置容积的40-50％，其余体积为水。

8.如权利要求4-7任一项所述的应用，其特征在于，所述第一研磨的研磨速度为50-80r/min；

优选地，所述第一研磨的时间为10-30min。

9.如权利要求4-8任一项所述的应用，其特征在于，所述第二研磨的研磨速度为100-150r/min；

优选地，所述第二研磨的时间为5-20min。

10.如权利要求4-9任一项所述的应用，其特征在于，所述应用包括对钼蒸发料采用所述复合研磨组合物进行研磨处理；

所述研磨处理包括依次进行的第一研磨和第二研磨；

所述钼蒸发料进行第一研磨前进行清洗处理；所述清洗处理包括依次进行的溶剂清洗和超声清洗；所述溶剂清洗中采用的溶剂为有机溶剂；所述溶剂清洗的时间为5-25min；所述超声清洗的介质包括水和/或洗涤剂；所述超声清洗的温度为45-65℃；所述超声清洗的时间为10-45min；

所述研磨中钼蒸发料和复合研磨组合物的质量比为(1-3):(5-15)；所述研磨中物料的体积为研磨装置容积的40-50％，其余体积为水；所述第一研磨的研磨速度为50-80r/min；所述第一研磨的时间为10-30min；所述第二研磨的研磨速度为100-150r/min；所述第二研磨的时间为5-20min。