[发明专利]一种光刻胶用改性酚醛树脂及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202110890081.7 申请日: 2021-08-04
公开(公告)号: CN113461884B 公开(公告)日: 2022-07-05
发明(设计)人: 王富成;苏志强;赵鑫;马铮 申请(专利权)人: 浙江自立高分子化工材料有限公司
主分类号: C08G8/24 分类号: C08G8/24;G03F7/004
代理公司: 北京中知星原知识产权代理事务所(普通合伙) 11868 代理人: 王维佳;艾变开
地址: 312300 浙江省绍*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 光刻 改性 酚醛树脂 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种光刻胶用改性酚醛树脂,其特征在于,是以包括以下原料缩聚制备得到:间甲酚,对甲酚,二甲酚,4,4’-二羟基二苯醚,2-羟基1-羟甲基萘,酚性多羟基化合物,甲醛;所述酚性多羟基化合物选自Trisp-PA、TrisP-SA、TrisP-HAP中的至少一种;

所述光刻胶用改性酚醛树脂的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

(S1)加入对甲酚,甲醛总量的30-50%和碱,升温50-55℃反应2-3h,加入稀酸中和,产物水洗至中性备用;

(S2)将步骤(S1)所得产物,间甲酚,二甲酚,2-羟基1-羟甲基萘,剩余的甲醛,70-95%的酸性催化剂,溶剂混匀,继续升温至80-90℃反应1-3h;

(S3)继续升温至90-95℃,缓慢加入4,4’-二羟基二苯醚和剩余酸性催化剂,反应3-5h;

(S4)降温至70-80℃,加入0.5-1份酚性多羟基化合物,反应0.5-1h,最终所得产物水洗,真空干燥后得到改性酚醛树脂。

2.根据权利要求1所述的光刻胶用改性酚醛树脂,其特征在于,所述改性酚醛树脂,是以包括以下重量份的原料缩聚制备得到:40-50份间甲酚,55-70份对甲酚,10-15份2-羟基1-羟甲基萘,5-8份二甲酚,3-6份4,4’-二羟基二苯醚,0.5-1份酚性多羟基化合物,100份甲醛和/或多聚甲醛。

3.根据权利要求1或2所述的光刻胶用改性酚醛树脂,其特征在于,所述二甲酚选自2,4-二甲酚,2,6-二甲酚,2,5-二甲酚,3,5-二甲酚,3,4-二甲酚中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的光刻胶用改性酚醛树脂,其特征在于,步骤(S1)中,碱包括氢氧化钠,氢氧化钾;酸包括盐酸,硫酸,草酸,乙酸或苯甲酸。

5.根据权利要求1所述的光刻胶用改性酚醛树脂,其特征在于,步骤(S2)中,所述酸性催化剂为草酸,三氯乙酸,苯磺酸,丁二酸,酸性离子交换树脂中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的光刻胶用改性酚醛树脂,其特征在于,步骤(S3)中,所述缓慢加入是将4,4’-二羟基二苯醚和剩余酸性催化剂溶于溶剂中,在0.5-1h内加入。

7.根据权利要求1所述的光刻胶用改性酚醛树脂,其特征在于,步骤(S4)中,所述水洗是除去杂质,未反应的酸和酚;真空干燥是在0.01-0.05MPa,60-80℃下干燥4-8h。

8.一种光刻胶组合物,包括权利要求1-7任一项所述的改性酚醛树脂,光敏剂和溶剂。

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