[发明专利]一种垂直连续蚀刻线在审

专利信息
申请号: 202110890212.1 申请日: 2021-08-04
公开(公告)号: CN113613400A 公开(公告)日: 2021-11-05
发明(设计)人: 刘长春;李星移 申请(专利权)人: 湖南鸿展自动化设备有限公司
主分类号: H05K3/06 分类号: H05K3/06
代理公司: 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 代理人: 安利营
地址: 422000 *** 国省代码: 湖南;43
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 垂直 连续 蚀刻
【权利要求书】:

1.一种垂直连续蚀刻线,其特征在于,所述垂直连续蚀刻线包括采用垂直连续的运载方式的垂直加载装置和采用蚀刻加工方式的蚀刻加工装置,待蚀刻电路板通过所述垂直加载装置在所述蚀刻加工装置进行蚀刻加工。

2.根据权利要求1所述的垂直连续蚀刻线,所述蚀刻加工装置为喷淋方式的蚀刻加工装置。

3.根据权利要求1所述的垂直连续蚀刻线,所述蚀刻加工装置包括浸泡方式蚀刻加工装置和喷淋方式蚀刻加工装置,所述待蚀刻电路板先通过所述浸泡方式蚀刻加工装置进行蚀刻加工,再通过所述喷淋方式蚀刻加工装置进行蚀刻加工,所述浸泡方式蚀刻加工装置的内部,分布有内部喷淋装置。

4.根据权利要求1所述的垂直连续蚀刻线,所述蚀刻加工装置包括喷淋方式蚀刻加工装置和浸泡方式蚀刻加工装置,所述待蚀刻电路板先通过所述喷淋方式蚀刻加工装置进行蚀刻加工,再通过所述浸泡方式蚀刻加工装置进行蚀刻加工,所述浸泡方式蚀刻加工装置的内部,分布有内部喷淋装置。

5.根据权利要求2-4任一所述的垂直连续蚀刻线,所述蚀刻加工的方法步骤包括:

对所述待蚀刻电路板进行高浓度蚀刻处理,获得蚀刻后的电路板;

对所述蚀刻后的电路板进行水洗;

对所述蚀刻后的电路板进行烘干。

6.根据权利要求2-4任一所述的垂直连续蚀刻线,所述蚀刻加工的方法步骤包括:

对所述待蚀刻电路板进行高浓度蚀刻处理,获得第一蚀刻电路板;

对所述第一蚀刻电路板进行快速水洗;

对所述第一蚀刻电路板进行二次处理,获得第二加工电路板;

对所述第二蚀刻电路板进行水洗;

对所述第二加工电路板进行烘干。

7.根据权利要求2-4任一所述的垂直连续蚀刻线,所述蚀刻加工的方法步骤包括:

对所述待蚀刻电路板进行高浓度蚀刻处理,获得第一蚀刻电路板;

对所述第一蚀刻电路板进行风刀处理;

对所述第一蚀刻电路板进行快速水洗;

对所述第一蚀刻电路板进行二次处理,获得第二加工电路板;

对所述第一蚀刻电路板进行水洗;

对所述第二加工电路板进行烘干。

8.根据权利要求2-4任一所述的垂直连续蚀刻线,所述蚀刻加工的方法步骤包括:

对所述待蚀刻电路板进行高浓度蚀刻处理,获得第一蚀刻电路板;

对所述第一蚀刻电路板进行风刀处理;

对所述第一蚀刻电路板进行快速水洗;

对所述第一蚀刻电路板进行上下旋转180°处理;

对所述第一蚀刻电路板进行二次处理,获得第二加工电路板;

对所述第一蚀刻电路板进行水洗;

对所述第二加工电路板进行烘干。

9.根据权利要求6-8任一所述的垂直连续蚀刻线,所述二次处理为高浓度蚀刻处理、低浓度蚀刻处理、缓蚀药水处理、清洗药水处理、褪膜药水处理中的一种。

10.根据权利要求8所述的垂直连续蚀刻线,所述上下旋转180°处理包括旋转位置处理和旋转方式处理;其中,

所述旋转位置处理为在所述垂直连续蚀刻线的上层旋转或者所述垂直连续蚀刻线的下层旋转;

所述旋转方式处理包括双面顶柱式旋转、吸盘式旋转、双面夹头式旋转、机械臂夹持式旋转中的一种。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖南鸿展自动化设备有限公司,未经湖南鸿展自动化设备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110890212.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top