[发明专利]一种亚纳秒绿光激光器

权利要求书

1.一种亚纳秒绿光激光器，其特征在于，包括：

发射种子光的亚纳秒种子源、对所述种子光进行多级放大的多级放大结构和对放大后的所述种子光进行倍频转换的倍频转换结构；

所述多级放大结构包括对所述种子光进行一级放大的第一级放大光路、进行二级放大的第二级放大光路和进行三级放大的第三级放大光路；

所述第一级放大光路包括依次设置的第一种子光路、第一激光晶体、0°反射镜和第一泵浦模块；

所述第一种子光路包括依次设置的准直镜、45°反射镜、第一平凸透镜，第一平凹透镜、隔离器、半波片、45°反射镜和光学补偿镜；所述准直镜的两面镀膜HT1064，利用准直镜对种子光进行光束整形；所述45°反射镜的单面镀1064nm高反射膜，将光路折转90°，能减小激光器的腔内空间；所述第一平凸透镜和所述第一平凹透镜双面镀1064nm高透膜，对种子源输出的光束进行整形；所述隔离器的两边窗口镀1064nm高透膜；

所述第二级放大光路包括依次设置的第二种子光路、第二激光晶体、0°反射镜和第二泵浦模块；

所述第二种子光路包括依次设置的45°反射镜、第二平凸透镜，第二平凹透镜、隔离器、半波片、45°反射镜和光学补偿镜，所述第二平凸透镜和所述第二平凹透镜双面镀1064nm高透膜，对经过所述第一级放大光路一级放大后的种子光进行整形；

所述第三级放大光路包括依次设置的第三种子光路、第三激光晶体、泵浦分光镜和第三泵浦模块；

所述第三种子光路包括依次设置的45°反射镜、第三平凸透镜，第三平凹透镜、45°反射镜、隔离器和半波片；

其中，所述第一级放大光路和所述第二级放大光路均采用同轴双程放大的方式，所述第三级放大光路是对二级放大后的种子光进行单程放大。

2.根据权利要求1所述的亚纳秒绿光激光器，其特征在于，所述第一泵浦模块包括依次设置的第一泵浦聚焦镜、泵浦回光保护镜、第一泵浦准直镜和第一泵浦放大模块。

3.根据权利要求1所述的亚纳秒绿光激光器，其特征在于，所述第二泵浦模块包括依次设置的第二泵浦聚焦镜、泵浦回光保护镜、第二泵浦准直镜和第二泵浦放大模块。

4.根据权利要求1所述的亚纳秒绿光激光器，其特征在于，所述第三泵浦模块包括依次设置的第三泵浦聚焦镜、泵浦回光保护镜、第三泵浦准直镜和第三泵浦放大模块。

5.根据权利要求1所述的亚纳秒绿光激光器，其特征在于，所述倍频转换结构包括转换前光路、倍频晶体和转换后光路。

6.根据权利要求5所述的亚纳秒绿光激光器，其特征在于，所述转换前光路包括依次设置的第四平凸透镜、第四平凹透镜、45°反射镜、取样镜、隔离器和半波片。

7.根据权利要求5所述的亚纳秒绿光激光器，其特征在于，所述转换后光路包括依次设置的532nm/1064nm分光镜、1064吸附体、532nm/1064nm分光镜、第五平凸透镜、第五平凹透镜、532nm/1064nm分光镜和窗口镜。