[发明专利]一种亚纳秒绿光激光器

说明书

本发明提供了一种亚纳秒绿光激光器，包括：发射种子光的亚纳秒种子源、对所述种子光进行多级放大的多级放大结构和对放大后的所述种子光进行倍频转换的倍频转换结构；所述多级放大结构包括第一级放大光路、第二级放大光路和第三级放大光路；所述第一级放大光路包括依次设置的第一种子光路、第一激光晶体、0°反射镜和第一泵浦模块；所述第二级放大光路包括依次设置的第二种子光路、第二激光晶体、0°反射镜和第二泵浦模块；所述第三级放大光路包括依次设置的第三种子光路、第三激光晶体、泵浦分光镜和第三泵浦模块。本发明提供的亚纳秒绿光激光器，输出的绿光激光具有重复频率高、平均功率高、单脉冲能量高的特点，能满足于市场应用需求。

技术领域

本发明涉及激光技术领域，尤其是涉及一种亚纳秒绿光激光器。

背景技术

亚纳秒绿光激光器具有输出波长短、加工精度高等特点，在激光微加工、激光医疗、非线性光学等领域有着广阔的应用场景。

传统的全固体亚纳秒绿光激光器，其重复频率较低，不适用于市场应用。市场上也有全光纤的亚纳秒绿光激光器，但其单脉冲能量很小，不具备切割效率和成本优势。因此，如何实现具有高重复频率、高平均功率、高单脉冲能量的亚纳秒绿光激光器成为亟需解决的问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种亚纳秒绿光激光器，以解决现有技术中缺乏重复频率高、平均功率高、单脉冲能量高的亚纳秒绿光激光器的技术问题。

本发明的目的，可以通过如下技术方案实现：

一种亚纳秒绿光激光器，包括：

发射种子光的亚纳秒种子源、对所述种子光进行多级放大的多级放大结构和对放大后的所述种子光进行倍频转换的倍频转换结构；

所述多级放大结构包括对所述种子光进行一级放大的第一级放大光路、进行二级放大的第二级放大光路和进行三级放大的第三级放大光路；

所述第一级放大光路包括依次设置的第一种子光路、第一激光晶体、0°反射镜和第一泵浦模块；

所述第二级放大光路包括依次设置的第二种子光路、第二激光晶体、0°反射镜和第二泵浦模块；

所述第三级放大光路包括依次设置的第三种子光路、第三激光晶体、泵浦分光镜和第三泵浦模块。

可选地，

所述第一种子光路包括依次设置的准直镜、45°反射镜、第一平凸透镜，第一平凹透镜、隔离器、半波片、45°反射镜和光学补偿镜。

可选地，

所述第一泵浦模块包括依次设置的第一泵浦聚焦镜、泵浦回光保护镜、第一泵浦准直镜和第一泵浦放大模块。

可选地，

所述第二种子光路包括依次设置的45°反射镜、第二平凸透镜，第二平凹透镜、隔离器、半波片、45°反射镜和光学补偿镜。

可选地，

所述第二泵浦模块包括依次设置的第二泵浦聚焦镜、泵浦回光保护镜、第二泵浦准直镜和第二泵浦放大模块。

可选地，

所述第三种子光路包括依次设置的45°反射镜、第三平凸透镜，第三平凹透镜、45°反射镜、隔离器和半波片。

可选地，

所述第三泵浦模块包括依次设置的第三泵浦聚焦镜、泵浦回光保护镜、第三泵浦准直镜和第三泵浦放大模块。

可选地，

所述倍频转换结构包括转换前光路、倍频晶体和转换后光路。

可选地，