[发明专利]显示装置制造装置以及显示装置制造方法

说明书

公开一种显示装置制造装置以及显示装置制造方法。在一实施例中，显示装置制造装置包括：真空腔室；负压形成部，向所述真空腔室提供负压；静电吸盘，配置在所述真空腔室内；静电吸盘移动部，沿第一方向移动所述静电吸盘；气体喷射部，向所述真空腔室内部喷射惰性气体；以及激光刻蚀机，向所述真空腔室的内部照射激光。

技术领域

本发明涉及一种显示装置制造装置以及显示装置制造方法。

背景技术

正在上市智能电话、平板PC、数码相机、笔记本电脑、导航仪以及智能电视等显示图像的各种种类的显示装置。

在这种显示装置中可以装载相机、红外线传感器等光学元件，并为了接收所述光学元件的光而形成物理贯通显示装置的一部分部件的光学孔。

发明内容

本发明所要解决的问题在于提供一种可以容易地去除静电吸盘以及装载在其上的基板上的残留电荷的显示装置制造装置以及利用其的显示装置制造方法。

本发明的问题不限于以上提及的问题，本领域技术人员能够从以下的记载清楚地理解未提及的其它技术问题。

在用于解决所述问题的一实施例中，显示装置制造装置包括：真空腔室；负压形成部，向所述真空腔室提供负压；静电吸盘，配置在所述真空腔室内；静电吸盘移动部，沿第一方向移动所述静电吸盘；以及气体喷射部，向所述真空腔室内部喷射惰性气体。

可以是，所述气体喷射部朝向所述静电吸盘的沿所述第一方向延伸的侧面以及沿与所述第一方向交叉的第二方向延伸的侧面中的至少一个喷射气体。

可以是，所述气体喷射部配置在所述真空腔室的内侧壁。

可以是，所述气体喷射部配置在所述静电吸盘，并随着所述静电吸盘的移动而移动。

可以是，在所述静电吸盘的一面配置对象基板，所述气体喷射部向所述静电吸盘的侧面和所述对象基板的侧面的分界部分喷射气体。

可以是，所述静电吸盘还包括：压力杆，将所述对象基板向下方加压而使所述对象基板的至少一部分从所述静电吸盘的下面隔开，所述气体喷射部向所述静电吸盘和所述对象基板之间喷射气体。

可以是，所述显示装置制造装置还包括：气体供应部，向所述气体喷射部供应气体；以及第一气体供应流路，连接所述气体喷射部和所述气体供应部。

可以是，所述显示装置制造装置还包括：两个以上控制阀，配置在所述第一气体供应流路中。

可以是，所述显示装置制造装置还包括：激光刻蚀机，向所述真空腔室的内部照射激光。

可以是，所述激光刻蚀机配置在所述真空腔室之下并朝向所述静电吸盘的下面照射激光。

可以是，所述激光刻蚀机以与所述静电吸盘的下面形成倾斜的方式照射所述激光。

可以是，所述激光刻蚀机向所述静电吸盘的下面垂直地照射所述激光。

可以是，所述激光刻蚀机配置在所述真空腔室之上并贯通所述静电吸盘照射激光。

可以是，所述静电吸盘包括：激光贯通孔，所述激光刻蚀机的激光贯通所述激光贯通孔。

可以是，所述显示装置制造装置还包括：移动玻璃，在所述真空腔室内配置成与所述激光刻蚀机在高度方向上重叠；以及玻璃移动部，沿所述第一方向移动所述移动玻璃。

可以是，在所述静电吸盘的下面上吸附对象基板，所述对象基板包括：玻璃基板；以及有源元件层，形成在所述玻璃基板上并包括发光元件以及驱动所述发光元件的薄膜晶体管，所述激光刻蚀机通过去除所述发光元件以及薄膜晶体管来形成贯通所述有源元件层的贯通孔。

可以是，所述真空腔室的内部的压力是100nPa至100mPa。