[发明专利]一种双远心曝光镜头

说明书

本发明公开了一种双远心曝光镜头，从物方到像方包括依次设置的前透镜组、光阑和后透镜组；前透镜组从物方到像方包括依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜，其中，第一透镜为双凸透镜，第二透镜为厚弯月透镜，第三透镜为厚弯月透镜，第四透镜为弯月透镜，第五透镜为凸透镜，第六透镜为凹透镜；后透镜组从物方到像方包括依次设置的第七透镜和第八透镜，第七透镜为弯月透镜，第八透镜为双凸透镜。本发明双远心曝光镜头，具有物象远心度小，像方和物方的远心度均在0.8mrad以内，畸变小，透过率高，大景深等优势，物距和像距均150mm，方便加工操作；且所需镜片少，结构简单，成本低，镜头整体透过率高。

技术领域

本发明涉及一种应用于直写光刻领域的双远心曝光镜头，属于光学镜头技术领域。

背景技术

双远心镜头则是指既满足物方远心光路特点，又满足像方远心光路特点的成像系统，它包含了两种远心光路共同的优势，双远心镜头能提供较大景深，保证恒定放大倍率，在直写光刻领域得到广泛应用。

现有的双远心镜头存在镜片数量多，结构复杂，镜头整体透过率低等问题。

发明内容

本发明提供一种双远心曝光镜头，具有物象远心度小，畸变小，透过率高，大景深等优势，且镜片数量少，结构简单，镜头整体透过率高。

为解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案如下：

一种双远心曝光镜头，从物方到像方包括依次设置的前透镜组、光阑和后透镜组；前透镜组从物方到像方包括依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜，其中，第一透镜为双凸透镜，第二透镜为厚弯月透镜，第三透镜为厚弯月透镜，第四透镜为弯月透镜，第五透镜为凸透镜，第六透镜为凹透镜；后透镜组从物方到像方包括依次设置的第七透镜和第八透镜，第七透镜为弯月透镜，第八透镜为双凸透镜。

上述曝光镜头，物象远心度小，畸变小，透过率高，大景深；且所需镜片少，成本低。

上述曝光镜头可以应用波长范围在400-410nm左右的光源。

上述第一透镜的物面侧为凸面，像面侧为凸面；第二透镜的物面侧为凸面，像面侧为凹面；第三透镜的物面侧为凸面，像面侧为凹面；第四透镜的物面侧为凸面，像面侧为凹面；第五透镜的物面侧为平面，像面侧为凸面；第六透镜的物面侧为凹面，像面侧为凹面；第七透镜的物面侧为凹面，像面侧为凸面；第八透镜的物面侧为凸面，像面侧为凸面。

为了提高成像效果，第一透镜的物面侧：205mm＜R＜290mm，第一透镜的像面侧：-150mm＜R＜-200mm；第二透镜的物面侧：65mm＜R＜105mm，第二透镜的像面侧：600mm＜R＜700mm；第三透镜的物面侧：50mm＜R＜75mm，第三透镜的像面侧：125mm＜R＜195mm；第四透镜的物面侧：525mm＜R＜550mm，第四透镜的像面侧：35mm＜R＜65mm；第五透镜的物面侧：平面，第五透镜的像面侧：-20mm＜R＜-45mm；第六透镜的物面侧：-20mm＜R＜-45mm，第六透镜的像面侧：125mm＜R＜195mm；第七透镜的物面侧：-105＜R＜-135mm，第七透镜的像面侧：-85mm＜R＜-115mm；第八透镜的物面侧：255mm＜R＜375mm，第八透镜的像面侧：-600mm＜R＜-750mm；前述R均为曲率半径。