[发明专利]一种多功能的快速换花篮插片机构在审
申请号: | 202110900677.0 | 申请日: | 2021-08-06 |
公开(公告)号: | CN113506763A | 公开(公告)日: | 2021-10-15 |
发明(设计)人: | 魏玉帅;欧文凯;向亮睿 | 申请(专利权)人: | 普乐新能源科技(徐州)有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 苏州创策知识产权代理有限公司 32322 | 代理人: | 范圆圆 |
地址: | 221000 江苏省徐州市高新技*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多功能 快速 花篮 机构 | ||
1.一种多功能的快速换花篮插片机构,其特征在于:包括底座,所述底座上设有进花篮装置、换花篮装置、插片装置以及出花篮装置;所述进花篮装置和所述插片装置并排设置,所述出花篮装置和所述进花篮装置位于同一直线上,所述换花篮装置位于三者之间;
所述换花篮装置包括由旋转电机驱动旋转的旋转盘以及固定在旋转盘上的两组花篮升降组件;两组花篮升降组件关于所述旋转盘的转动轴中心对称,且能随着旋转盘的转动分别与所述进花篮装置和所述插片装置对齐;
所述进花篮装置用于将空花篮传送至其中一组花篮升降组件;由所述旋转盘将空花篮转动至和所述插片装置对齐后,所述花篮升降组件将空花篮调整至插片位;所述插片装置用于往空花篮中插入硅片;空花篮插满后,所述旋转盘将满花篮转动至和所述出花篮装置对齐,由出花篮装置将满花篮传出。
2.根据权利要求1所述的一种多功能的快速换花篮插片机构,其特征在于:所述花篮升降组件包括升降丝杆、升降电机、传动底座、花篮盖板以及盖板气缸;所述升降丝杆竖直设立在所述旋转盘上,所述升降电机的输出轴与所述升降丝杆固定连接;所述传动底座与所述升降丝杆的滑块固定连接;所述盖板气缸安装在所述传动底座的上方,盖板气缸的活塞杆与所述花篮盖板固定连接;所述花篮盖板上安装有花篮检测传感器。
3.根据权利要求2所述的一种多功能的快速换花篮插片机构,其特征在于:所述进花篮装置包括进花篮伸缩传动组件,所述进花篮伸缩传动组件包括进花篮伸缩传送带总成、进花篮传动电机以及进花篮伸缩气缸;所述进花篮传动电机用于驱动所述进花篮伸缩传送带总成传送;所述进花篮伸缩气缸用于推动所述进花篮伸缩传送带总成伸长至与所述传动底座对接。
4.根据权利要求3所述的一种多功能的快速换花篮插片机构,其特征在于:所述进花篮装置还包括花篮变形检测组件,所述花篮变形检测组件包括压篮板、压篮气缸、花篮阻挡气缸、红外测距仪和两对夹紧气缸;所述压篮气缸安装在所述进花篮伸缩传送带总成的上方,压篮气缸的活塞杆与所述压篮板固定连接;所述压篮板上安装有花篮检测传感器;所述花篮阻挡气缸和红外测距仪设于所述压篮板下方,红外测距仪的高度低于所述进花篮伸缩传送带总成的传送平面,花篮阻挡气缸伸出时高于所述进花篮伸缩传送带总成的传送平面;两对夹紧气缸分别安装在所述压篮板和所述进花篮伸缩传送带总成的两侧,夹紧气缸的活塞杆上均安装有长度与花篮边长相等的夹板,每对夹板相对的一侧均设有感应开关。
5.根据权利要求1所述的一种多功能的快速换花篮插片机构,其特征在于:所述插片装置包括插片伸缩传动组件,所述插片伸缩传动组件包括插片伸缩传送带总成、插片传动电机以及插片伸缩气缸;所述插片传动电机用于驱动所述插片伸缩传送带总成传送;所述插片伸缩气缸用于推动所述插片伸缩传送带总成伸长至插入花篮。
6.根据权利要求5所述的一种多功能的快速换花篮插片机构,其特征在于:所述插片装置还包括用于检测硅片有无隐裂的隐裂检测组件,所述隐裂检测组件包括蒸汽发生器、蒸汽喷淋板和照明灯;所述蒸汽喷淋板安装在所述插片伸缩传送带总成的传送平面的下方,蒸汽喷淋板的上表面均匀地密布有喷淋孔;所述蒸汽发生器通过软管与所述喷淋孔连通;所述照明灯设于所述蒸汽喷淋板的上方。
7.根据权利要求6所述的一种多功能的快速换花篮插片机构,其特征在于:所述插片装置还包括用于检测硅片是否完整的碎片检测组件,所述碎片检测组件包括横移丝杆、横移电机、吸盘、吸盘气缸以及碎片检测板;所述碎片检测板安装在所述插片伸缩传送带总成的传送平面的下方,碎片检测板的上表面均匀地设置有多个碎片检测传感器;所述横移丝杆横向安装在所述碎片检测板的上方,所述横移电机的输出轴与所述横移丝杆固定连接;所述吸盘气缸与所述横移丝杆的滑块固定连接,吸盘气缸的活塞杆与所述吸盘固定连接。
8.根据权利要求7所述的一种多功能的快速换花篮插片机构,其特征在于:所述碎片检测板的一侧设有碎片盒,所述横移丝杆驱动所述吸盘在所述碎片检测板和碎片盒的上方往复移动。
9.根据权利要求2所述的一种多功能的快速换花篮插片机构,其特征在于:所述出花篮装置包括出花篮伸缩传送带总成、出花篮传动电机和出花篮伸缩气缸;所述出花篮传动电机用于驱动所述出花篮伸缩传送带总成传送;所述出花篮伸缩气缸用于推动所述出花篮伸缩传送带总成伸长至与所述传动底座对接;所述出花篮伸缩传送带总成上安装有花篮检测传感器。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造