[发明专利]一种三氯硅烷的检测前处理方法及检测方法

权利要求书

1.一种三氯硅烷的检测前处理方法，其特征在于，包括以下步骤：

常温下，将液态的三氯硅烷喷洒入对氢气进行存储的第一空间内，所述三氯硅烷和氢气的体积比例为设定值；

对所述第一空间进行压缩，当所述第一空间内的压力增大至第一设定值时，所述第一空间内的气体向第二空间内流动，且流动过程中保持对所述第一空间的持续增压状态，使得进入所述第二空间内的气流保持持续的升温状态，在压力作用下进入的气流可通过冲击的方式在所述第二空间内均匀的分散，而使得所述第二空间也持续且均匀的升温；

当所述第一空间内的压力增大至第二设定值时，对所述第二空间进行压缩，在所述第二空间内气体被压缩的过程中，所述第一空间内的气体持续进入而形成搅动作用；

所述第一空间内的气体完成向所述第二空间内的流通，且所述第二空间内的压力增大至第一设定值前，完成三氯硅烷的气化。

2.根据权利要求1所述的三氯硅烷的检测前处理方法，其特征在于，所述第一空间的压缩速率大于第二空间的压缩速率。

3.根据权利要求1所述的三氯硅烷的检测前处理方法，其特征在于，所述第一空间和第二空间的压缩方向相反。

4.根据权利要求3所述的三氯硅烷的检测前处理方法，其特征在于，所述第一空间和第二空间在垂直于压缩方向上的截面面积相同。

5.根据权利要求1所述的三氯硅烷的检测前处理方法，其特征在于，所述第一空间内的压力增大至第一设定值前，往复性的进行几次压缩。

6.一种三氯硅烷的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：采用如权利要求1~5任一项所述的三氯硅烷的检测前处理方法对三氯硅烷进行气化；通过对所述第二空间持续增压的方式，将气化完成的三氯硅烷以及氢气的混合气体供入气相色谱仪进行检测。