[发明专利]阵列基板、阵列基板的制作方法及显示面板在审

专利信息
申请号: 202110906207.5 申请日: 2021-08-09
公开(公告)号: CN114068589A 公开(公告)日: 2022-02-18
发明(设计)人: 江志雄 申请(专利权)人: TCL华星光电技术有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L21/77;G02F1/1362
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 官建红
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 阵列 制作方法 显示 面板
【权利要求书】:

1.一种阵列基板,其特征在于,所述阵列基板包括:

基板;

薄膜晶体管层,设置在所述基板上,所述薄膜晶体管层包括多个薄膜晶体管,所述薄膜晶体管包括有源层、与所述有源层电连接的源漏极、与所述有源层对应的第一栅极和第二栅极,所述第一栅极和所述第二栅极之间设有第一绝缘层,所述第一绝缘层上开设有通孔,所述第一栅极和所述第二栅极通过所述通孔电连接。

2.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述薄膜晶体管层包括第一栅极线和数据线,所述第一栅极线与所述第一栅极电连接且同层设置,所述数据线与所述源漏极电连接且同层设置;所述第一栅极线和所述数据线错开设置。

3.根据权利要求2所述的阵列基板,其特征在于,所述薄膜晶体管层包括第二栅极线,所述第二栅极线与所述第二栅极电连接且同层设置,所述第二栅极线与所述数据线交叉;

所述第一栅极线和所述第二栅极线至少部分重叠;所述第一栅极线在所述第二栅极线与所述数据线交叉处断开。

4.根据权利要求2所述的阵列基板,其特征在于,所述第一栅极和所述有源层之间设有第二绝缘层;

所述第二栅极线、所述第一绝缘层、所述第一栅极线、所述第二绝缘层、所述有源层以及所述数据线层叠地设置在所述基板上,所述第一栅极与所述有源层的位置对应。

5.根据权利要求2所述的阵列基板,其特征在于,所述第二栅极和所述有源层之间设有第二绝缘层;

所述有源层、所述第二绝缘层、所述第二栅极线、所述第一绝缘层、所述第一栅极线以及所述数据线依次层叠地设置在所述基板上,所述第二栅极与所述有源层的位置对应。

6.根据权利要求4或5所述的阵列基板,其特征在于,所述第一绝缘层的厚度大于或者等于所述第二绝缘层的厚度。

7.根据权利要求3所述的阵列基板,其特征在于,所述第一栅极线的厚度大于或者等于所述第二栅极线的厚度。

8.根据权利要求6所述的阵列基板,其特征在于,所述通孔与所述第一栅极的位置对应。

9.一种阵列基板的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:

提供一基板;

在所述基板上制作第二栅极和第二栅极线,所述第二栅极和第二栅极线电连接且同层设置;

在所述第二栅极和第二栅极线上制作第一绝缘层,并在所述第一绝缘层上开设通孔;

在所述第一绝缘层上制作第一栅极和第一栅极线,并使所述第一栅极穿过所述通孔与所述第二栅极电连接,所述第一栅极线与所述第一栅极电连接且同层设置;

在所述第一栅极和第一栅极线上制作第二绝缘层;

在所述第二绝缘层上制作有源层;

在所述有源层上制作源漏极和数据线,所述数据线与所述源漏极中的源极电连接且同层设置。

10.根据权利要求9所述的阵列基板的制作方法,其特征在于,所述第一栅极线设置有隔断区域,所述在所述有源层上制作源漏极和数据线的步骤中,包括:

在所述有源层上沉积金属层;

图案化所述金属层形成源漏极和数据线,所述数据线与所述隔断区域至少部分重叠。

11.一种显示面板,其特征在于,所述显示面板包括权利要求1至8中任意一项所述的阵列基板。

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