[发明专利]低温泵及低温泵的控制方法有效
| 申请号： | 202110913475.X | 申请日： | 2018-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN113700629B | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | 高桥走 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | F04B37/08 | 分类号： | F04B37/08;F04B37/14;F04B49/06 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 低温泵 控制 方法 | ||
1.一种低温泵，其特征在于，具备：
1级低温板；
2级低温板；
制冷机，与所述1级低温板及所述2级低温板热连接，并将所述1级低温板冷却至1级冷却温度，将所述2级低温板冷却至低于所述1级冷却温度的2级冷却温度；及
控制装置，其构成为执行将所述2级冷却温度控制为2级目标温度的2级温度控制，并且在低温泵的真空排气运行中，在所述2级温度控制的执行中判定所述1级冷却温度是否在规定的1级下限温度以上且规定的1级上限温度以下的温度范围。
2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，
若所述1级冷却温度低于所述1级下限温度时，所述控制装置从所述2级温度控制切换为将所述1级冷却温度控制为1级目标温度的1级温度控制。
3.根据权利要求1或2所述的低温泵，其特征在于，
若所述1级冷却温度超过所述1级上限温度时，所述控制装置从所述2级温度控制切换为将所述1级冷却温度控制为1级目标温度的1级温度控制。
4.根据权利要求2或3所述的低温泵，其特征在于，
还具备通知部，所述通知部将从所述2级温度控制切换成所述1级温度控制的情况通知给使用者。
5.一种低温泵的控制方法，其特征在于，
所述低温泵具备：1级低温板；2级低温板；及制冷机，与所述1级低温板及所述2级低温板热连接，并将所述1级低温板冷却至1级冷却温度，将所述2级低温板冷却至低于所述1级冷却温度的2级冷却温度；
所述低温泵的控制方法具备以下步骤：
执行将所述2级冷却温度控制为2级目标温度的2级温度控制；及
在低温泵的真空排气运行中，在所述2级温度控制的执行中判定所述1级冷却温度是否在规定的1级下限温度以上且规定的1级上限温度以下的温度范围。
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