[发明专利]低温泵及低温泵的控制方法

说明书

本发明提供一种低温泵，该低温泵(10)具备：1级低温板(18)；2级低温板(19)；制冷机(16)，与1级低温板(18)及2级低温板(19)热连接，并将1级低温板(18)冷却至1级冷却温度，将2级低温板(19)冷却至低于1级冷却温度的2级冷却温度；及控制装置(100)，其构成为执行将1级冷却温度控制为1级目标温度的1级温度控制。控制装置(100)构成为，在1级温度控制的执行中检测出2级冷却温度的上升后使制冷机(16)的制冷能力增加。

本申请是申请日为2018年6月11日、申请号为201880038727.5、名称为“低温泵及低温泵的控制方法”的中国发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种低温泵及低温泵控制方法

背景技术

低温泵为通过冷凝或吸附将气体分子捕捉于被冷却至超低温的低温板而进行排气的真空泵。低温泵通常用于实现半导体电路制造工艺等中要求的清洁的真空环境。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第4912438号公报

发明内容

发明要解决的技术课题

在低温泵的排气性能因长期使用而劣化的情况下，推荐进行维修低温泵或更换新的低温泵等维护。但是，根据低温泵的用途，能够进行维护的时期受到限制。例如，在工场设备中使用低温泵时，为了使产品的制造效率最大化，要求在计划好的时刻进行维护。因此，在低温泵的排气性能出现了劣化的预兆时，期待在之后的一定期间内(或者优选直至计划好的维护时期为止)，一边抑制排气性能的劣化一边继续进行低温泵的运行。

本发明的一种实施方式的例示性目的之一在于在一定程度上延长低温泵的寿命。

用于解决技术课题的手段

根据本发明的一种实施方式，低温泵具备：1级低温板；2级低温板；制冷机，与所述1级低温板及所述2级低温板热连接，并将所述1级低温板冷却至1级冷却温度，将所述2级低温板冷却至低于所述1级冷却温度的2级冷却温度；及控制装置，其构成为执行将所述1级冷却温度控制为1级目标温度的1级温度控制，并且在所述1级温度控制的执行中检测出所述2级冷却温度的上升后使所述制冷机的制冷能力增加。

根据本发明的一种实施方式提供一种低温泵的控制方法，所述低温泵具备：1级低温板；2级低温板；制冷机，与所述1级低温板及所述2级低温板热连接，并将所述1级低温板冷却至1级冷却温度，将所述2级低温板冷却至低于所述1级冷却温度的2级冷却温度；所述低温泵的控制方法具备以下步骤：执行将所述1级冷却温度控制为1级目标温度的1级温度控制；及在所述1级温度控制的执行中检测出所述2级冷却温度的上升后使所述制冷机的制冷能力增加。

另外，上述构成要件的任意组合或者在装置、方法、系统、计算机程序、储存计算机程序的记录介质等之间互相替换本发明的构成要件或表现的方式也作为本发明的方式而有效。

发明效果

根据本发明，能够在一定程度上延长低温泵的寿命。

附图说明

图1为示意性表示一种实施方式的低温泵的图。

图2为示意性表示一种实施方式的低温泵的控制装置的结构的图。

图3为表示可作为长期使用典型的低温泵的结果的温度分布的一例的图。

图4为表示一种实施方式的低温泵的控制方法的流程图。

图5为表示一种实施方式的低温泵的控制方法的流程图。

图6为表示可作为长期使用一种实施方式的低温泵的结果的温度分布的一例的图。