[发明专利]一种边缘扫描装置及金属沾污检测设备

权利要求书

1.一种边缘扫描装置，其特征在于，包括：

旋转部件(1)，包括承载部(11)，所述承载部(11)用于承载待测试样(A)，所述旋转部件(1)能够带动所述待测试样(A)进行转动；

扫描液供给及回收部件，包括喷头(2)，用于吐出和回收扫描液滴；

承接部件(3)，包括托臂(31)，所述扫描液滴容纳在所述喷头(2)和所述托臂(31)之间，并能够包裹所述待测试样(A)的边缘部。

2.根据权利要求1所述边缘扫描装置，其特征在于，还包括清洁部件(4)，用于对所述托臂(31)进行清洁。

3.根据权利要求2所述边缘扫描装置，其特征在于，所述托臂(31)具有承托工位和清洁工位，所述承接部件(3)还配置有驱动机构，用于驱使所述托臂(31)在所述承托工位和所述清洁工位之间进行切换。

4.根据权利要求3所述边缘扫描装置，其特征在于，所述清洁部件(4)包括壳体(41)，所述壳体(41)内形成清洁腔(413)，所述壳体(41)的壳壁还设有与所述清洁腔(413)相连通的第一进出口(414)，所述托臂(31)能够通过所述第一进出口(414)进出所述清洁腔(413)；

所述清洁部件(4)还配置有清洁构件，用于对所述清洁腔(413)内的所述托臂(31)进行清洁。

5.根据权利要求4所述边缘扫描装置，其特征在于，所述清洁构件包括液洗部，所述壳体(41)的下端部还设置有与所述清洁腔(413)相连通的第一排液口(415)；和/或，

所述清洁构件包括气洗部。

6.根据权利要求1所述边缘扫描装置，其特征在于，所述承接部件(3)还配置有调高构件，用于调整所述托臂(31)的安装高度。

7.根据权利要求1所述边缘扫描装置，其特征在于，所述承载部(11)为负压吸盘。

8.根据权利要求1-7中任一项所述边缘扫描装置，其特征在于，还包括平台板(5)，所述旋转部件(1)和所述承接部件(3)均安装于所述平台板(5)；

所述平台板(5)的上表面设有呈环形的第一槽体(51)，所述第一槽体(51)在所述平台板(5)的上表面围合形成设定区域(5a)，所述待测试样(A)在所述平台板(5)的上表面的正投影位于所述设定区域(5a)内，所述平台板(5)还设有与所述第一槽体(51)相连通的第二排液口(52)。

9.根据权利要求8所述边缘扫描装置，其特征在于，所述平台板(5)的上表面还设有呈环形的第二槽体(54)，所述第二槽体(54)位于所述设定区域(5a)内，且所述第二槽体(54)环绕所述旋转部件(1)设置，所述第二槽体(54)和所述第一槽体(51)之间设有第一连通槽(55)。

10.根据权利要求9所述边缘扫描装置，其特征在于，所述平台板(5)的上表面在所述第二槽体(54)和所述第一槽体(51)之间的面部呈现为自远离所述第二槽体(54)的方向逐渐向下倾斜。

11.根据权利要求8所述边缘扫描装置，其特征在于，还包括清洁部件(4)，用于对所述托臂(31)进行清洁，所述清洁部件(4)也安装于所述平台板(5)；

所述平台板(5)的上表面还设有呈环形的第三槽体(56)，所述第三槽体(56)环绕所述清洁部件(4)设置，所述第三槽体(56)通过第二连通槽(57)与所述第一槽体(51)相连通。