[发明专利]一种用于动态检测缺陷的原位真空反应系统

权利要求书

1.一种用于动态检测缺陷的原位真空反应系统，其特征在于，包括电子顺磁共振波谱仪、原位真空反应仓、气路单元、真空单元、光照单元、温控单元、混合瓶，所述电子顺磁共振波谱仪的检测腔体内部放置原位真空反应仓，所述气路单元通过管路连接混合瓶，所述混合瓶通过管路连接原位真空反应仓的进气口，所述真空单元通过管路连接原位真空反应仓的进气口，所述光照单元设置于电子顺磁共振波谱仪前端可拆卸窗口前面，所述温控单元通过管路连接电子顺磁共振波谱仪。

2.根据权利要求1所述的用于动态检测缺陷的原位真空反应系统，其特征在于：所述的原位真空反应仓包括石英反应管、连接部分、进气口管路、不锈钢管道、a阀门、b阀门、复合真空计，所述连接部分和不锈钢管道下端连接，所述连接部分的下端采用螺纹与石英反应管连接，所述进气口管路外壁和不锈钢管道、连接部分和石英反应管内壁形成排气管路，所述a阀门、b阀门、复合真空计与不锈钢管道连接。

3.根据权利要求2所述的用于动态检测缺陷的原位真空反应系统，其特征在于：所述石英反应管的外径为5-10mm，内径为4-9mm。

4.根据权利要求3所述的用于动态检测缺陷的原位真空反应系统，其特征在于：所述石英反应管的长为90-110mm。

5.根据权利要求2所述的用于动态检测缺陷的原位真空反应系统，其特征在于：所述连接部分的外径为20mm。

6.根据权利要求5所述的用于动态检测缺陷的原位真空反应系统，其特征在于：所述连接部分的长为66mm。

7.根据权利要求2所述的用于动态检测缺陷的原位真空反应系统，其特征在于：所述进气口管路的制备材质为聚甲醛。

8.根据权利要求7所述的用于动态检测缺陷的原位真空反应系统，其特征在于：所述进气口管路的长为150-200mm。

9.根据权利要求1所述的用于动态检测缺陷的原位真空反应系统，其特征在于：所述的真空单元由二级泵组成。

10.根据权利要求9所述的用于动态检测缺陷的原位真空反应系统，其特征在于：所述的二级泵包括机械泵和分子泵。