[发明专利]一种用于高纯铝铸锭中杂质元素的检测方法

权利要求书

1.一种用于高纯铝铸锭中杂质元素的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1、试样制备；

步骤2、试样安装；

步骤3、试样检测；

所述的步骤1具体包括步骤1.1试样切割；步骤1.2试样抛光；步骤1.3试样清洗；

所述步骤3是将试样放置在EPMA电子探针显微分析仪器中进行检测。

2.根据权利要求1所述的用于高纯铝铸锭中杂质元素的检测方法，其特征在于，所述步骤1至步骤3中的具体操作如下：

步骤1.1、试样切割：将直径φ135mm的高纯铝圆棒铸锭横向切割成厚20mm的圆柱状中间试样，再用锯切机分别在中间试样的边部和中部切割两块、长度×宽度为20×20的检测试样；

步骤1.2、试样抛光：将切割好的试样在自动抛光机上进行抛光，抛光使用水磨砂纸，使用顺序和目数为：120目、240目、600目、1000目、1500目和2000目，抛光的目的是减少甚至消除待测表面的杂质，以保证检测的准确性；

步骤1.3、试样清洗：将抛光过的试样用纯水清洗3-5遍，再用无水乙醇清洗1-2遍，每次需用超声清洗；消除附着在试样表面难清除的杂质；

步骤2、试样安装：将处经过步骤1处理好的试样安装在EPMA电子探针显微分析仪器的试样架上，然后将安装好的待检试样放入EPMA电子探针显微分析仪器的样品室内，待检测；

步骤3、试样检测：通过对EPMA电子探针显微分析仪器定性分析功能中的参数设定，对高纯铝铸锭试样进行定性分析，对于其中含有的杂质可以做进一步处理，所述参数包括电子束加速电压、电子束电流和束斑。

3.根据权利要求1或2所述的用于高纯铝铸锭中杂质元素的检测方法，其特征在于：所述步骤1.2的试样抛光中，设定抛光转速250r/min-500r/min，抛光时间5min-10min。

4.根据权利要求3所述的用于高纯铝铸锭中杂质元素的检测方法，其特征在于：所述步骤1.2的试样抛光中，设定抛光转速250r/min-300r/min，抛光时间6min-8min。

5.根据权利要求1、2或4所述的用于高纯铝铸锭中杂质元素的检测方法，其特征在于：步骤1.3所述试样清洗中，清洗抛光过的试样所用的纯水为超纯水。

6.根据权利要求2所述的用于高纯铝铸锭中杂质元素的检测方法，其特征在于：步骤1.3所述试样清洗中，所述超声清洗设定的超声功率250W-300W，清洗时间3min-5min。

7.根据权利要求2所述的用于高纯铝铸锭中杂质元素的检测方法，其特征在于：在步骤3所述的EPMA电子探针显微分析仪器上设定电子束加速电压为15kV-18kV。

8.根据权利要求2所述的用于高纯铝铸锭中杂质元素的检测方法，其特征在于：在步骤3所述的EPMA电子探针显微分析仪器上设定电子束电流为90nA-100nA。

9.根据权利要求2所述的用于高纯铝铸锭中杂质元素的检测方法，其特征在于：在步骤3所述的EPMA电子探针显微分析仪器上设定所述的束斑为Minμm-10μm。

10.一种用于高纯铝铸锭中杂质元素的检测方法，其特征在于：所述的杂质元素检测方法为EPMA(Electron Probe Micro Analyzer)电子探针显微分析法中的定性分析方法。