[发明专利]双电机同步驱动无油真空泵

说明书

本发明的实施例提供了一种双电机同步驱动无油真空泵，涉及抽真空技术领域。双电机同步驱动无油真空泵包括壳体、第一转子、第二转子、第一电机、第二电机和驱动器，壳体内部开设有转动空腔，第一转子通过第一轴承转动连接在转动空腔内，第二转子通过第二轴承转动连接在转动空腔内，第一电机与第一转子传动连接，第一电机用于驱动第一转子，第二电机与第二转子传动连接，第二电机用于驱动第二转子，驱动器与第一电机和第二电机电性连接，驱动器用于控制第一电机和第二电机同步驱动第一转子和第二转子。这样，能够使第一转子与第二转子保持同步转动，且第一转子与第二转子之间无需通过齿轮传动、不需要注入润滑油。

技术领域

本发明涉及抽真空技术领域，具体而言，涉及一种双电机同步驱动无油真空泵。

背景技术

随着光伏半导体行业的发展和进步，对于光伏半导体加工设备的控制要求越来越高，工艺也越来越复杂多样，现有的真空泵不能更好地适应这些要求，容易对加工工艺造成一些污染及破坏。

具体的，现有的真空泵中采用一个电机驱动第一个转子，第一个转子再通过齿轮连接到第二个转子，实现对两个转子的驱动。这样的驱动结构形式至少存在以下缺点：

1.齿轮上需要注入润滑油，对需要规避油污染的特殊工艺，现有真空泵很难适用；

2.通过齿轮传动，齿轮发热量大，使用寿命短；

3.每个转子上安装的轴承的受力较大，磨损较快，使轴承使用寿命短；4.电机一般采用异步电机，成本较高。

发明内容

本发明的目的包括提供了一种双电机同步驱动无油真空泵，其能够使第一转子与第二转子保持同步转动，且第一转子与第二转子之间无需通过齿轮传动、不需要注入润滑油。

本发明的实施例可以这样实现：

第一方面，本发明提供一种双电机同步驱动无油真空泵，双电机同步驱动无油真空泵包括：

壳体，壳体内部开设有转动空腔；

第一转子，通过第一轴承转动连接在转动空腔内；

第二转子，通过第二轴承转动连接在转动空腔内；

第一电机，与第一转子传动连接，第一电机用于驱动第一转子；

第二电机，与第二转子传动连接，第二电机用于驱动第二转子；

驱动器，与第一电机和第二电机电性连接，驱动器用于控制第一电机和第二电机同步驱动第一转子和第二转子。

本实施例提供的双电机同步驱动无油真空泵至少包括以下有益效果：

1.采用驱动器控制第一电机和第二电机同步驱动第一转子和第二转子，能够使第一转子与第二转子保持同步转动，从而不需要在第一转子与第二转子之间采用齿轮传动，进而就不存在需要给齿轮增加润滑油，这样，本实施例提供的双电机同步驱动无油真空泵就能够适用于需要规避油污染的特殊工艺；

2.采用第一电机和第二电机分别驱动第一转子和第二转子，使第一转子上的第一轴承和第二转子上的第二轴承受力较小，能够延长第一轴承和第二轴承的使用寿命；

3.第一电机和第二电机均由驱动器控制，对第一电机和第二电机的工作性能要求较低，不需要采用高端电机，减少了设备成本。

在可选的实施方式中，双电机同步驱动无油真空泵还包括：

第一齿轮，与第一转子传动连接，第一齿轮与第一转子同步转动；

第二齿轮，与第二转子传动连接，第二齿轮与第二转子同步转动；

其中，第一齿轮与第二齿轮相配合，在第一转子和第二转子正常转动的情况下，第一齿轮与第二齿轮相互受力为零。