[发明专利]测试图形的验证方法、装置、设备及存储介质

权利要求书

1.一种测试图形的验证方法，其特征在于，包括：

获取测试图形的配置文件，所述配置文件包括为所述测试图形配置的多项约束条件；

验证所述配置文件是否满足设计规则要求，得到第一验证结果；所述设计规则要求包括用于限定集成电路不同检查区域中各检查项的数值范围的规则；

输出所述第一验证结果，所述第一验证结果用于指示所述测试图形是否有效。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述验证所述配置文件是否满足设计规则要求，得到第一验证结果，包括：

通过设计规则手册DRM文件获取所述测试图形所在检查区域的第一设计规则和第二设计规则；所述第一设计规则包括用于限定所述测试图形所在检查区域中第一检查项的数值范围的规则，所述第二设计规则包括用于限定所述测试图形所在检查区域中第二检查项的数值范围的规则，所述第一检查项与所述第二检查项之间具有关联关系；

验证所述配置文件是否满足第一设计规则，得到第二验证结果；

验证所述配置文件是否满足第二设计规则，得到第三验证结果；

根据所述第二验证结果和所述第三验证结果，确定所述第一验证结果。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述第二验证结果和所述第二验证结果，确定所述第一验证结果，包括：

若所述第一验证结果和所述第二验证结果均指示所述测试图形有效，则所述第一验证结果用于指示所述测试图形有效；或者

若所述第一验证结果和所述第二验证结果中的至少一个验证结果指示所述测试图形无效，则所述第一验证结果用于指示所述测试图形无效。

4.根据权利要求1-3任一项所述的方法，其特征在于，若所述第一验证结果用于指示所述测试图形无效，所述第一验证结果包括所述配置文件中错误字段的位置信息，所述方法还包括：

响应于测试人员的输入操作，修正所述配置文件；

验证修正后的配置文件是否满足设计规则要求。

5.根据权利要求1-3任一项所述的方法，其特征在于，若所述第一验证结果用于指示所述测试图形有效，所述方法还包括：

执行所述测试图形的配置文件，生成测试图形；

将所述测试图形存储至有效测试图形库中。

6.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，所述第一检查项包括：所述集成电路中目标对象之间距离值，所述第二检查项包括：所述集成电路中目标对象之间的位置关系，所述目标对象包括半导体结构，通孔的至少一种。

7.一种测试图形的验证装置，其特征在于，包括：

获取模块，用于获取测试图形的配置文件，所述配置文件包括为所述测试图形配置的多项约束条件；

处理模块，用于验证所述配置文件是否满足设计规则要求，得到第一验证结果；所述设计规则要求包括用于限定集成电路不同检查区域中各检查项的数值范围的规则；

输出模块，用于输出所述第一验证结果，所述第一验证结果用于指示所述测试图形是否有效。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述获取模块，还用于：

通过设计规则手册DRM文件获取所述测试图形所在检查区域的第一设计规则和第二设计规则；所述第一设计规则包括用于限定所述测试图形所在检查区域中第一检查项的数值范围的规则，所述第二设计规则包括用于限定所述测试图形所在检查区域中第二检查项的数值范围的规则，所述第一检查项与所述第二检查项之间具有关联关系；

所述处理模块，具体用于：

验证所述配置文件是否满足第一设计规则，得到第二验证结果；

验证所述配置文件是否满足第二设计规则，得到第三验证结果；

根据所述第二验证结果和所述第三验证结果，确定所述第一验证结果。