[发明专利]一种蚀刻液及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202110928638.1 | 申请日： | 2021-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN113773840B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 金炳生;刘耀鹏;高小云;刘兵 | 申请（专利权）人： | 晶瑞电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 向亚兰 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 及其 制备 方法 应用 | ||
【权利要求书】：
1.一种蚀刻液，其特征在于，所述蚀刻液含有(A)醋酸、(B)盐酸、(C)调控剂及(D)水；其中，所述调控剂包含式(Ⅰ)所示的含有氨基苯基的化合物和/或聚苯胺，所述调控剂以无机酸盐形式存在，
式中，R为H、C1-6的烷基或
以质量百分含量计，所述蚀刻液中，调控剂占0.1％-5.0％，醋酸占1％-3％，盐酸所含有的氯化氢占2％-5％；
所述蚀刻液的pH值为0.1-1.5。
2.根据权利要求1所述的蚀刻液，其特征在于，所述无机酸盐形式为盐酸盐形式和/或硫酸盐形式；和/或，式(Ⅰ)中，R取代在氨基的对位。
3.根据权利要求1或2所述的蚀刻液，其特征在于，所述调控剂为选自苯胺盐酸盐、苯胺硫酸盐、4-甲基苯胺盐酸盐、聚苯胺盐酸盐、聚苯胺硫酸盐和盐酸副品红中的一种或多种的组合。
4.根据权利要求1所述的蚀刻液，其特征在于，以质量百分含量计，所述调控剂的添加量占所述蚀刻液的0.5％-3.0％。
5.一种权利要求1-4中任一项所述的蚀刻液的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：按配方量将各成分混合，分散，过滤，滤液为所述蚀刻液。
6.一种权利要求1-4中任一项所述的蚀刻液在蚀刻氧化铟系膜中的应用。
7.根据权利要求6所述的应用，其特征在于，所述蚀刻在蚀刻温度为25-45℃下进行。
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